[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于深紫外光刻照明系統(tǒng)的chirp式復(fù)眼勻光單元

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410160658.9
• 申請(qǐng)日: 2014-04-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103926804A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李艷秋;肖雷;魏立冬
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京理工大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20;G02B27/09
• 代理公司: 北京理工大學(xué)專(zhuān)利中心 11120
• 代理人: 仇蕾安;李?lèi)?ài)英

1.一種用于深紫外光刻照明系統(tǒng)的chirp式復(fù)眼勻光單元，包括chirp式復(fù)眼、孔徑光闌和聚光鏡；其特征在于，

chirp式復(fù)眼中第一排復(fù)眼的基底為階梯型結(jié)構(gòu)，第二排復(fù)眼的基底為等厚度結(jié)構(gòu)，且第一排復(fù)眼上子透鏡位于與其對(duì)應(yīng)的第二排復(fù)眼上子透鏡的物方焦平面處；基于通過(guò)chirp式復(fù)眼上每一子透鏡的光束在掩模面上的照明區(qū)域大小相同的限定條件，確定chirp式復(fù)眼上各子透鏡的口徑與曲率半徑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于深紫外光刻照明系統(tǒng)的chirp式復(fù)眼勻光單元，其特征在于，所述第一排復(fù)眼的基底的階梯端朝向光源。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于深紫外光刻照明系統(tǒng)的chirp式復(fù)眼勻光單元，其特征在于，以光束前進(jìn)的方向?yàn)閦軸，依據(jù)左手坐標(biāo)原則確定坐標(biāo)系(x，y，z)；本發(fā)明chirp式復(fù)眼上各子透鏡的結(jié)構(gòu)構(gòu)成形式為：兩排復(fù)眼中朝向光源的一側(cè)為等長(zhǎng)x柱形透鏡陣列，兩排復(fù)眼中朝向掩模的一側(cè)為y柱形透鏡陣列，在每一排復(fù)眼上，由x柱形透鏡陣列與y柱形透鏡陣列相互垂直正交形成多個(gè)子透鏡。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述用于深紫外光刻照明系統(tǒng)的chirp式復(fù)眼勻光單元，其特征在于，chirp式復(fù)眼中第i對(duì)子透鏡的焦距f_i、口徑p_i及曲率半徑r_i；

f1=f0+(p0/2+p1/2)tanαnLA---(1)]]>

p1=2×(f0+p0·tanα/2nLA)(1/NA-tanα/nLA)---(2)]]>

fi=f0+(p0/2+Σn=1i-1pn+pi/2)tanαnLA,(i≥2)---(3)]]>

pi=2×f0+(f0·NA+Σn=1i-1pn)tanα/nLA1/NA-tanα/nLA,(i≥2)---(4)]]>

r_i＝-(n_L4-1)f_i???????(5)其中，n_L4為基底的折射率，f₀和p₀為chirp式復(fù)眼陣列中預(yù)先設(shè)定的尺寸最小的子透鏡焦距和口徑，α為設(shè)定的角度，i=1，2，......N，N為chirp式復(fù)眼子透鏡對(duì)的總數(shù)，NA為每個(gè)子透鏡的數(shù)值孔徑。