[發明專利]無衍射斑干涉儀有效
| 申請號: | 201410157909.8 | 申請日: | 2014-04-18 |
| 公開(公告)號: | CN104019738B | 公開(公告)日: | 2018-03-02 |
| 發明(設計)人: | 祝沛 | 申請(專利權)人: | 上海乾曜光學科技有限公司 |
| 主分類號: | G01B9/02 | 分類號: | G01B9/02;G01N21/45 |
| 代理公司: | 上海漢聲知識產權代理有限公司31236 | 代理人: | 郭國中 |
| 地址: | 201807 上海市*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 衍射 干涉儀 | ||
1.一種無衍射斑干涉儀,其特征在于,包括投光部和成像部;
所述投光部包括激光器、第一反射鏡、旋轉毛玻璃、分光棱鏡、分光板以及第一準直鏡;所述成像部包括標準鏡、樣品承載部以及圖像傳感器;
其中,激光器發射出的激光經第一反射鏡反射后依次通過旋轉毛玻璃、分光棱鏡、分光板以及第一準直鏡形成平行光射出;平行光經所述標準鏡照射所述樣品承載部上的待測樣品;再經待測樣品和標準鏡反射后返回并依次通過第一準直鏡、分光板以及分光棱鏡入射所述圖像傳感器;
還包括馬達,所述馬達驅動所述旋轉毛玻璃旋轉;
還包括C-Lens透鏡,所述C-Lens透鏡配合所述旋轉毛玻璃使依次入射旋轉毛玻璃和C-Lens透鏡的激光形成面光源并向所述分光棱鏡發射球面光。
2.根據權利要求1所述的無衍射斑干涉儀,其特征在于,還包括發散鏡,由所述第一反射鏡射出的激光通過所述發散鏡入射所述旋轉毛玻璃。
3.根據權利要求1所述的無衍射斑干涉儀,其特征在于,還包括第二準直鏡,所述第二準直鏡設置在所述圖像傳感器的輸入端的前端。
4.根據權利要求1所述的無衍射斑干涉儀,其特征在于,所述馬達與所述旋轉毛玻璃的連接點位于所述旋轉毛玻璃的中心。
5.根據權利要求1所述的無衍射斑干涉儀,其特征在于,所述激光器采用He-Ne激光器。
6.根據權利要求1所述的無衍射斑干涉儀,其特征在于,所述圖像傳感器采用CCD圖像傳感器。
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