[發明專利]變換器、變換器的制造方法和對象信息獲取裝置

有效

• 申請號: 201410156455.2
• 申請日: 2014-04-18
• 公開（公告）號: CN104113817B
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發明（設計）人: 虎島和敏;加藤綾子;秋山貴弘
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H04R31/00
• 分類號: H04R31/00;H04R19/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 羅銀燕

1.一種變換器，包括：

包含多個單元的至少一個元件，

其中，每一個單元包含其間設置有間隙的一對電極和包含電極之一的振動膜片，并且振動膜片以能振動的方式被支撐，

其中，所述至少一個元件包含第一單元組和第二單元組，所述第一單元組包含三個或更多個單元，在所述第一單元組中提供有用于單元的間隙之間連通的連通路徑，所述第二單元組包含三個或更多個單元，在所述第二單元組中提供有用于單元的間隙之間連通的連通路徑，

其中，在離第一單元組中的各單元的中心相同距離的位置處設置有用于形成間隙的蝕刻孔，以及

其中，沒有提供用于連通所述第一單元組中的間隙和所述第二單元組中的間隙的連通路徑。

2.根據權利要求1的變換器，其中，元件包括多個單元組，所述多個單元組包含第一單元組和第二單元組。

3.根據權利要求1的變換器，其中，第一單元組和第二單元組中的每一個中的單元的間隙通過在用于形成間隙的蝕刻處理期間形成的蝕刻通道相互連通。

4.根據權利要求3的變換器，其中，元件包括多個單元組，所述多個單元組包含第一單元組和第二單元組，以及

其中，在每一個單元組中，使蝕刻孔密封的密封部件的數量小于單元的數量。

5.根據權利要求1的變換器，其中，第一單元組中的單元的數量與第二單元組中的單元的數量相同。

6.根據權利要求1的變換器，其中，第一單元組中的單元的數量與第二單元組中的單元的數量不同。

7.根據權利要求4的變換器，其中，在所述多個單元組中的每一個中，密封部件被設置在單元組的包絡線的內側。

8.根據權利要求7的變換器，其中，密封部件被設置在離與密封部件連通的單元組中的各單元的中心相同距離的位置處。

9.根據權利要求5的變換器，其中，元件中的每一個單元組包含三個單元，并且密封部件的數量是一個，以及

其中，所述三個單元被設置為使得單元組中的三個單元的中心形成正三角形，并且每一個單元組中的密封部件位于正三角形的中心。

10.根據權利要求3的變換器，其中，元件形成在基板上，以及

其中，當蝕刻通道被正交投影到基板上時，其中形成有蝕刻孔的區域中的蝕刻通道的投影部分的尺寸大于正交投影到基板上的蝕刻孔的尺寸。

11.一種變換器，包括：

包含多個單元組的至少一個元件，每一個單元組包含多個單元，

其中，每一個單元包含其間設置有間隙的一對電極和包含電極之一的振動膜片，并且振動膜片以能振動的方式被支撐，

其中，所述至少一個元件包含第一單元組和第二單元組，所述第一單元組包含三個或更多個單元，在所述第一單元組中提供有用于單元的間隙之間連通的連通路徑，所述第二單元組包含三個或更多個單元，在所述第二單元組中提供有用于單元的間隙之間連通的連通路徑，

其中，在離第一單元組中的各單元的中心相同距離的位置處設置有用于形成間隙的蝕刻孔，

其中，沒有提供用于連通所述第一單元組中的間隙和所述第二單元組中的間隙的連通路徑，以及

其中，每一個單元組中的單元的間隙與密封用于形成單元的間隙的共用蝕刻孔的密封部件連通。

12.根據權利要求11的變換器，其中，在所述多個單元組中的每一個中，密封部件被設置在單元組的包絡線的內側。

13.根據權利要求12的變換器，其中，密封部件被設置在離與密封部件連通的單元組中的各單元的中心相同距離的位置處。

14.根據權利要求11的變換器，其中，每一個單元組包含三個單元，并且密封部件的數量為一個。