[發明專利]電子紙的陣列基板及其制造方法和電子紙

有效

• 申請號: 201410155963.9
• 申請日: 2014-04-17
• 公開（公告）號: CN103972241B
• 公開（公告）日: 2017-02-08
• 發明（設計）人: 田宗民;張金中;謝振宇
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77;G06F3/041
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112
• 代理人: 彭瑞欣,陳源

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，具體地，涉及一種電子紙的陣列基板及其制造方法和一種包括該陣列基板的電子紙。

背景技術

現有的電子紙通常包括對盒的陣列基板和透明電極基板以及設置在陣列基板和透明基板之間的電子墨水。陣列基板上設置有薄膜晶體管，薄膜晶體管控制像素電極與公共電極之間的電場。當電場為負時，電子墨水中的白色離子在上方顯示，當電場為正時，電子墨水中的黑色離子在上方顯示。但是，目前的電子紙尚不具備觸控的功能，從而影響了電子紙的使用性能。

因此，如何使得電子紙具有觸控的功能成為本領域亟待解決的技術問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種電子紙的陣列基板及其制造方法和一種包括該陣列基板的電子紙，該電子紙可以實現觸控操作。

為了實現上述目的，作為本發明的一個方面，提供一種用于電子紙的陣列基板，其中，所述陣列基板包括多條信號發射線、多條感應信號線和多個光敏薄膜晶體管，所述光敏薄膜晶體管的源極和漏極設置在所述感應信號線上，所述信號發射線與所述光敏薄膜晶體管的柵極相連，所述光敏薄膜晶體管的有源層的位置與所述電子紙中相鄰兩個電子墨水之間的間隙相對應。

優選地，所述陣列基板包括多條柵線、多條數據線和多個開關薄膜晶體管，所述開關薄膜晶體管的柵極與所述柵線相連，所述開關薄膜晶體管的源極設置在所述數據線上，所述開關薄膜晶體管的漏極與像素電極電連接，且所述開關薄膜晶體管的柵極與所述光敏薄膜晶體管的柵極位于同一層，所述開關薄膜晶體管的源極和漏極與所述光敏薄膜晶體管的源極和漏極位于同一層，所述開關薄膜晶體管的有源層與所述光敏薄膜晶體管的有源層位于同一層，且所述開關薄膜晶體管的有源層上方設置有用于擋光的擋光金屬層。

優選地，所述光敏薄膜晶體管的漏極與開關薄膜晶體管的源極連接，所述感應信號線與所述數據線形成為一體。

優選地，所述光敏薄膜晶體管的柵極上形成有公共電極，所述信號發射線與所述柵線形成為一體。

優選地，所述光敏薄膜晶體管的源極和漏極與所述光敏薄膜晶體管的有源層位于同一層，

所述光敏薄膜晶體管的源極和漏極由碳納米管材料制成，所述光敏薄膜晶體管的有源層由利用紫外線照射氧氣處理過的碳納米管材料制得；或者

所述光敏薄膜晶體管的源極和漏極由石墨烯材料制成，所述光敏薄膜晶體管的有源層由利用氫氣或氬氣處理石墨烯材料制得。

優選地，所述陣列基板的最頂層設置有像素電極，所述像素電極與所述開關薄膜晶體管的漏極電連接。

作為本發明的另一個方面，提供一種電子紙，該電子紙包括對盒的陣列基板和透明電極基板，所述電子紙還包括設置在所述陣列基板和所述透明電極基板之間的電子墨水，其中，所述陣列基板為本發明所提供的上述陣列基板，所述電子紙還包括觸摸驅動電路和觸摸控制電路，所述觸摸驅動電路包括觸摸驅動單元和觸摸感應單元，所述觸摸驅動單元與所述信號發射線相連，向所述信號發射線提供觸控驅動信號，所述觸摸感應單元與所述感應信號線相連，向所述感應信號線提供感應信號，所述觸摸控制電路與所述感應信號線相連，且所述觸摸控制電路能夠接收所述感應信號線的電信號。

優選地，所述電子紙的工作周期包括觸控周期和顯示周期，所述電子紙還包括顯示控制器，所述陣列基板的柵線和數據線與所述顯示控制器電連接，在所述觸控周期內，所述觸摸驅動電路提供所述觸控驅動信號和所述感應信號，在所述顯示周期內，所述顯示控制器提供顯示信號。

作為本發明的再一個方面，提供一種用于電子紙的陣列基板的制造方法，其中，所述制造方法包括：

形成包括信號發射線和光敏薄膜晶體管的柵極的圖形，其中，所述光敏薄膜晶體管的柵極與所述信號發射線相連；

在陣列基板上對應于電子紙的兩個電子墨水之間的間隙的位置形成包括所述光敏薄膜晶體管的有源層的圖形；

形成包括所述光敏薄膜晶體管的源極、漏極以及感應信號線的圖形，其中，所述光敏薄膜晶體管的源極和所述光敏薄膜晶體管的漏極設置在所述感應信號線上。

優選地，在形成所述光敏薄膜晶體管的有源層的同時形成陣列基板的開關薄膜晶體管的有源層；

在形成所述光敏薄膜晶體管的源極和漏極的同時形成所述開關薄膜晶體管的源極和漏極以及所述陣列基板的數據線；

在形成所述光敏薄膜晶體管的柵極的同時形成所述開關薄膜晶體管的柵極以及所述陣列基板的柵線；

在所述開關薄膜晶體管的有源層的上方形成包括擋光金屬層的圖形，該擋光金屬層與所述開關薄膜晶體管的有源層間隔設置，且遮擋射向所述開關薄膜晶體管的有源層的光線。