[發明專利]一種高NA投影物鏡

有效

• 申請號: 201410155301.1
• 申請日: 2014-04-17
• 公開（公告）號: CN103885159A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 白瑜;邢廷文;呂保斌;鄧超;朱紅偉;廖志遠
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G02B13/18
• 分類號: G02B13/18;G02B13/14;G02B13/00;G02B17/08;G03F7/20
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 楊學明;李新華

1.一種高NA投影物鏡，包括第一單元（L1）、第二單元（L2）、第三單元（L3）、第四單元（L4）、第五單元（L5）、第六單元（L6）、第七單元（L7）、第八單元（L8）、第九單元（L9）和第十單元（L10），其特征在于，第一單元（L1）具有正光焦度，第二單元（L2）具有正光焦度，第三單元(L3)具有正光焦度，第四單元（L4）為45°放置的平面反射鏡，第五單元（L5）具有正光焦度，第六單元（L6）為45°放置的平面反射鏡，第七單元（L7）具有負光焦度，第八單元（L8）具有正光焦度，第九單元（L9）具有負光焦度，第十單元（L10）具有負光焦度;

第一單元（L1）包括第一正透鏡（1）、第二正透鏡（2）、第一負透鏡（3）和第三正透鏡（4）;

第二單元（L2）包括第四正透鏡（5）和第二負透鏡（6）；

第三單元（L3）包括第五正透鏡（7），第六正透鏡（8）和第七正透鏡（9）；

第四單元（L4）包括第一平面反射鏡（10）；

第五單元（L5）包括第三負透鏡（11），第四負透鏡（12），第八正透鏡（13）和第一曲面反射鏡（14）；

第六單元（L6）包括第二平面反射鏡（18）；

第七單元（L7）包括第五負透鏡（19），第六負透鏡（20）和第七負透鏡（21）；

第八單元（L8）包括第九正透鏡（22），第十正透鏡（23）和第八負透鏡（24）；

第九單元（L9）包括第九負透鏡（25），第十負透鏡（26），第十一負透鏡（27），第十二負透鏡（28）；

第十單元（L10）包括第十三負透鏡（29），第十四負透鏡（30），第十五負透鏡（31）。

2.根據權利要求1所述的一種高NA投影物鏡，其特征在于：所述的一種高NA投影物鏡中包括有18個非球面。

3.根據權利要求1所述的一種高NA投影物鏡，其特征在于：所述的一種高NA投影物鏡折射鏡使用的光學材料都是熔石英。

4.根據權利要求1所述的一種高NA投影物鏡，其特征在于：所述的一種高NA投影物鏡的縮小倍率為1/4。