[發(fā)明專利]一種通過(guò)上位機(jī)對(duì)擴(kuò)散硅傳感器進(jìn)行壓力標(biāo)定方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410151805.6 | 申請(qǐng)日： | 2014-04-12 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN103968998A | 公開(kāi)（公告）日： | 2014-08-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王雪冰;趙剛;周磊;石天立;曲婷 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01L25/00 | 分類號(hào)： | G01L25/00 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 110000 遼*** | 國(guó)省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 通過(guò) 上位 擴(kuò)散 傳感器 進(jìn)行 壓力 標(biāo)定 方法 | ||
1.一種通過(guò)上位機(jī)對(duì)擴(kuò)散硅傳感器進(jìn)行壓力標(biāo)定方法，其特征在于，包括如下步驟：
步驟1，在擴(kuò)散硅傳感器的量程范圍內(nèi)，選擇n個(gè)壓力標(biāo)定點(diǎn)，在每個(gè)標(biāo)定點(diǎn)下分別測(cè)試擴(kuò)散硅傳感器輸出的A/D值，所述n為正整數(shù)；
步驟2，按照擴(kuò)散硅傳感器的使用溫度范圍，選擇所述擴(kuò)散硅傳感器m個(gè)補(bǔ)償溫度標(biāo)定點(diǎn)，所述m為正整數(shù)；
步驟3，根據(jù)所述擴(kuò)散硅傳感器壓力標(biāo)定點(diǎn)和補(bǔ)償溫度標(biāo)定點(diǎn)，生成所述擴(kuò)散硅傳感器壓力標(biāo)定點(diǎn)和補(bǔ)償溫度標(biāo)定點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)輸入值，通過(guò)A/D轉(zhuǎn)換之后，確定壓力標(biāo)定點(diǎn)輸出值UPk和補(bǔ)償溫度標(biāo)定點(diǎn)輸出值UTk；
步驟4，經(jīng)過(guò)壓力標(biāo)定和補(bǔ)償溫度后所得到的擴(kuò)散硅傳感器輸出值，通過(guò)上位機(jī)計(jì)算出壓力校準(zhǔn)參數(shù)，然后利用數(shù)據(jù)通信接口總線發(fā)送壓力標(biāo)定和補(bǔ)償溫度的標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)到擴(kuò)散硅傳感器的硬件存儲(chǔ)器里。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通過(guò)上位機(jī)對(duì)擴(kuò)散硅傳感器進(jìn)行壓力標(biāo)定方法，其特征在于，所述步驟1包括：
步驟1-1，在擴(kuò)散硅傳感器的量程范圍之內(nèi)，均勻選擇壓力標(biāo)定點(diǎn)，所述壓力標(biāo)定點(diǎn)在0％FS-100％FS之間；
步驟1-2，所述的壓力標(biāo)定點(diǎn)經(jīng)過(guò)二維回歸分析法補(bǔ)償，控制所述壓力標(biāo)定后的精度在±0.1％FS。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通過(guò)上位機(jī)對(duì)擴(kuò)散硅傳感器進(jìn)行壓力標(biāo)定方法，其特征在于，所述步驟2包括：
步驟2-1，選擇補(bǔ)償溫度為所述擴(kuò)散硅傳感器的使用溫度范圍，分別為所 述擴(kuò)散硅傳感器的使用溫度范圍的溫度下限，溫度上限和常溫值，確定補(bǔ)償溫度標(biāo)定點(diǎn)之后，重復(fù)執(zhí)行步驟1。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的通過(guò)上位機(jī)對(duì)擴(kuò)散硅傳感器進(jìn)行壓力標(biāo)定方法，其特征在于，所述步驟3包括：
步驟3-1，生成所述擴(kuò)散硅傳感器壓力標(biāo)定點(diǎn)和補(bǔ)償溫度標(biāo)定點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)輸入值為，
P：P1，P2，P3，P4，P5，...Pn
T：T1，T2，T3，T4，T5...Tm；
其中下標(biāo)m、n為正整數(shù)，壓力標(biāo)定點(diǎn)P和補(bǔ)償溫度標(biāo)定點(diǎn)T；
步驟3-2，對(duì)應(yīng)所述擴(kuò)散硅傳感器壓力標(biāo)定點(diǎn)和補(bǔ)償溫度標(biāo)定點(diǎn)的標(biāo)準(zhǔn)輸入值通過(guò)A/D轉(zhuǎn)換，讀取所述擴(kuò)散硅傳感器壓力和溫度的輸出值為UPk和UTk，其中下標(biāo)PK代表壓力輸出值、下標(biāo)TK代表溫度輸出值；
步驟3-3，由二維坐標(biāo)(UPk，UTk)決定壓力P在一平面上，利用二次曲面擬合方程，計(jì)算如下：
P＝a0+a1UP+a2UT+a3UP2+a4UPUT+...+an+ε；
其中a0～an代表常系數(shù)，ε代表為高階無(wú)窮小。
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