[發明專利]運動平臺系統的平面定位補償方法有效
| 申請號： | 201410150200.5 | 申請日： | 2014-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN105094051B | 公開（公告）日： | 2018-03-09 |
| 發明（設計）人： | 黨江濤;黃建華;李賓 | 申請（專利權）人： | 睿勵科學儀器（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G05B19/404 | 分類號： | G05B19/404 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所11256 | 代理人： | 鄭立柱 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 運動 平臺 系統 平面 定位 補償 方法 | ||
1.運動平臺系統的平面定位補償方法，所述運動平臺系統包括運動平臺以及對所述運動平臺上的物體進行測量的測量機臺，其特征在于，所述方法包括：
a、選定標準量具，使其隨運動平臺一起運動，所述標準量具上具有多個精密等間距圖案；
b、使用測量機臺的圖案識別系統識別所述標準量具上的各個所述圖案在運動平臺中的識別坐標值；
c、由所述識別坐標值擬合出圖案間距和各個圖案的修正坐標值；
d、由所述修正坐標值與所述識別坐標值的差值，得出各個圖案位置處需要的補償量。
2.根據權利要求1所述的運動平臺系統的平面定位補償方法，其特征在于，所述標準量具為標準硅片，其表面刻蝕尺寸精密的圖案，所述圖案在水平和垂直方向等間距重復出現。
3.根據權利要求1所述的運動平臺系統的平面定位補償方法，其特征在于，在所述步驟b中，所述圖案識別系統的掃描隊列中包括所有的相同圖案。
4.根據權利要求1至3任一項所述的運動平臺系統的平面定位補償方法，其特征在于，所述識別坐標值(x,y)滿足下式：
其中，X，Y為測量機臺的正交坐標系的坐標值，x，y為運動平臺坐標系的坐標值，X軸與x軸的角度為θ1，Y軸與y軸平行。
5.根據權利要求4所述的運動平臺系統的平面定位補償方法，其特征在于，所述識別坐標值(x,y)滿足下式：
其中，正交坐標系旋轉角度θ2。
6.根據權利要求5所述的運動平臺系統的平面定位補償方法，其特征在于，以所有掃描圖案中坐標值最接近(0，0)的點為基準點(x0，y0)，所述擬合出的修正坐標值滿足下式：
其中，Dx,y是所述圖案的長寬，nx,y是離散化的所有圖案。
7.根據權利要求6所述的運動平臺系統的平面定位補償方法，其特征在于，所述補償量由下式計算：
其中，(x,y)為所述識別坐標值，為所述修正坐標值，其由下式計算：
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