[發(fā)明專利]太陽能電池以及用于生產(chǎn)太陽能電池的設(shè)備和方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410149093.4
• 申請(qǐng)日: 2007-02-23
• 公開（公告）號(hào): CN104167464A
• 公開（公告）日: 2014-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 雷約·拉帕萊寧;韋莎·米呂邁基;拉塞·普利;亞里·魯圖;尤哈·梅基塔洛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 皮克迪昂有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18
• 代理公司: 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 張英;王玉桂

1.一種通過激光燒蝕產(chǎn)生至少一個(gè)具有表面的層并將其用作太陽能電池的部件的方法，其特征在于，待產(chǎn)生的表面區(qū)域包括至少0.2dm²的面積并且涂敷是通過采用超短脈沖激光沉積來實(shí)施的，其中，脈沖激光束是用包括至少一面用于反射所述激光束的鏡的旋轉(zhuǎn)光學(xué)掃描器來掃描的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述表面區(qū)域是均勻表面區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述表面區(qū)域包括至少0.5dm²的面積。

4.一種太陽能電池，包括具有由激光燒蝕產(chǎn)生的表面的至少一個(gè)層，其特征在于，待產(chǎn)生的均勻表面區(qū)域包括至少0.2dm²的面積并且所述層是通過采用超短脈沖激光沉積而產(chǎn)生的，其中，脈沖激光束是用包括至少一面用于反射所述激光束的鏡的旋轉(zhuǎn)光學(xué)掃描器來掃描的。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的太陽能電池，其特征在于，所述表面區(qū)域是均勻表面區(qū)域。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的太陽能電池，其特征在于，所述均勻表面區(qū)域包括至少0.5dm²的面積。

7.一種用于生產(chǎn)太陽能電池的至少一個(gè)部件的設(shè)備，所述設(shè)備包括通過激光燒蝕產(chǎn)生具有表面的至少一個(gè)層的裝置，其特征在于，待產(chǎn)生的表面區(qū)域包括至少0.2dm²的面積并且所述設(shè)備包括通過采用超短脈沖激光沉積來提供層的裝置，其中，所述設(shè)備包括用于掃描脈沖激光束的旋轉(zhuǎn)光學(xué)掃描器，所述旋轉(zhuǎn)掃描器包括至少一面用于反射所述激光束的鏡。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其特征在于，所述表面區(qū)域是均勻表面區(qū)域。

9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備包括用于在同一個(gè)室中生產(chǎn)同一個(gè)太陽能電池的至少兩個(gè)層的裝置。

10.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備包括用于在同一個(gè)室中對(duì)同一個(gè)太陽能電池的層或襯底進(jìn)行機(jī)械加工的裝置。