[發(fā)明專利]疊層芯片的晶圓級凸塊圓片級封裝架構(gòu)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410148410.0 | 申請日: | 2014-04-14 |
| 公開(公告)號: | CN103943583A | 公開(公告)日: | 2014-07-23 |
| 發(fā)明(設計)人: | 俞國慶;邵長治;廖周芳;吳超 | 申請(專利權(quán))人: | 寧波芯健半導體有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/488 | 分類號: | H01L23/488;H01L23/28 |
| 代理公司: | 上海泰能知識產(chǎn)權(quán)代理事務所 31233 | 代理人: | 宋纓;孫健 |
| 地址: | 315336 浙江省寧波市杭*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 芯片 晶圓級凸塊圓片級 封裝 架構(gòu) | ||
1.一種疊層芯片的晶圓級凸塊圓片級封裝架構(gòu),包括作業(yè)芯片(1),其特征在于,所述作業(yè)芯片(1)包括表層焊墊(11)和表面鈍化層(12);所述作業(yè)芯片(1)的每一顆表層焊墊(11)上生長有一根金屬線(2);所述金屬線(2)與表層焊墊(11)的鍵合點呈金屬球結(jié)構(gòu)(21);所述金屬線(2)的線弧(22)與所述表層焊墊(11)完全垂直,形成金屬凸塊結(jié)構(gòu);所述金屬線(2)的端部(23)植有作為對外電性或者信號連接層的金屬球(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊層芯片的晶圓級凸塊圓片級封裝架構(gòu),其特征在于,所述表面鈍化層(12)上固化有用來作為所述金屬線(2)的保護材料層及橫向力支撐層的環(huán)氧樹脂膠(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊層芯片的晶圓級凸塊圓片級封裝架構(gòu),其特征在于,所述金屬線(2)采用金、銅或合金材料制成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊層芯片的晶圓級凸塊圓片級封裝架構(gòu),其特征在于,所述金屬線(2)表面鍍覆有擴散阻擋層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊層芯片的晶圓級凸塊圓片級封裝架構(gòu),其特征在于,所述金屬球(3)為錫球。
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