[發明專利]極紫外光刻光源收集及照明系統

有效

• 申請號: 201410145987.6
• 申請日: 2014-04-11
• 公開（公告）號: CN103869633A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 張樹青;朱亮;張明祎
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B17/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.極紫外光刻光源收集及照明系統，其特征在于所述系統包括前端反射鏡組和后端反射鏡組兩部分，前端反射鏡組和后端反射鏡組之間通過支撐結構安裝固定，其中：

所述前端反射鏡組和后端反射鏡組都包括相同數量的、以嵌套形式從內層到外層進行安裝排布的殼體反射鏡，其中前端反射鏡組的某層殼體反射鏡與后端反射鏡組相應層數的殼體反射鏡在光路上存在一一對應的關系，并靠支撐結構銜接在一起；

所述前端反射鏡組中的每層殼體反射鏡的反射面都由拋物線繞光軸旋轉而成；

所述后端反射鏡組中的每層殼體反射鏡為環帶狀圓錐面，各環帶狀圓錐面共軸設置，其中各環帶狀圓錐面沿軸截面為多段連續線段；

極紫外光源發出的光線經前端反射鏡組各拋物線反射后，以平行光路射出，后端反射鏡組各環帶狀圓錐面把前端反射面沿軸截面射出的平行光分割成多個細窄平行光路，并全部反射到最終的照明點處。

2.根據權利要求1所述的極紫外光刻光源收集及照明系統，其特征在于所述光源位于拋物線的焦平面并處在光軸上。

3.根據權利要求1或2所述的極紫外光刻光源收集及照明系統，其特征在于所述拋物線具有6°-8°的光線收集角。

4.根據權利要求3所述的極紫外光刻光源收集及照明系統，其特征在于所述拋物線的最小收集角為20°，最大收集角為60°。

5.根據權利要求1所述的極紫外光刻光源收集及照明系統，其特征在于所述從最外層拋物線到最內層拋物線，它們所射出的平行光線的斜率由大到小依次降低。

6.根據權利要求1所述的極紫外光刻光源收集及照明系統，其特征在于所述前端反射鏡組和后端反射鏡組由5-6層殼體反射鏡組成。

7.根據權利要求1所述的極紫外光刻光源收集及照明系統，其特征在于所述系統的物方孔徑角為60°，像方孔徑角為10°-15°。

8.根據權利要求1所述的極紫外光刻光源收集及照明系統，其特征在于所述系統軸向長度400m，徑向長度700mm。

9.根據權利要求1所述的極紫外光刻光源收集及照明系統，其特征在于所述系統光源與照明點距離在1000-1500mm之間，光源與前端反射鏡組距離為150mm。