[發(fā)明專利]一種基于多場耦合的鍵合方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410145672.1
• 申請日: 2014-04-14
• 公開（公告）號: CN103928300A
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 宋曉輝;喬彥超;趙蘭普;莊春生;岳鵬飛;張萍
• 申請（專利權(quán)）人: 河南省科學(xué)院應(yīng)用物理研究所有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;B81C3/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于多場耦合的鍵合方法，其特征是在襯底上制備一層金屬薄膜作為基底，之后用電化學(xué)沉積的方法在金屬基底表面制備納米金屬針錐結(jié)構(gòu)作為鍵合層，最后在一定溫度和壓力條件下，將金屬基底連接恒流脈沖電源，通電持續(xù)一段時間后斷開電源，再恒溫恒壓保持一定時間。

2.如權(quán)利要求1所述的一種基于多場耦合的鍵合方法，其特征在于納米金屬針錐結(jié)構(gòu)直徑小于500nm。

3.如權(quán)利要求1所述的一種基于多場耦合的鍵合方法，其特征在于施加的壓力1-5MPa，溫度100-200℃，恒溫恒壓持續(xù)時間20-40分鐘。

4.如權(quán)利要求1所述的一種基于多場耦合的鍵合方法，其特征在于恒流脈沖電源電流幅值小于100安培，脈寬50-150毫秒，頻率大于50赫茲，通電時間30-300秒。