[發明專利]感光性聚硅氧烷組合物、保護膜及具有保護膜的元件在審
| 申請號: | 201410145384.6 | 申請日: | 2014-04-11 |
| 公開(公告)號: | CN104122753A | 公開(公告)日: | 2014-10-29 |
| 發明(設計)人: | 吳明儒;施俊安 | 申請(專利權)人: | 奇美實業股份有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/075 | 分類號: | G03F7/075;G03F7/008 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人: | 賈靜環 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 感光性 聚硅氧烷 組合 保護膜 具有 元件 | ||
1.一種感光性聚硅氧烷組合物,其特征在于,其包括:
含氮的雜環化合物(A);
聚硅氧烷(B);
鄰萘醌二疊氮磺酸酯(C);以及
溶劑(D),
其中所述含氮的雜環化合物(A)選自由式(1)至式(4)所表示的化合物所組成的族群,
式(1)至式(4)中,X1與X2各自獨立表示氫原子、酰基或烷基;R1至R9各自獨立表示氫原子、羥基、羧酸基、磺酸基、烷基、氨基、鹵素原子或巰基;m、n、q、s各自獨立表示選自0、1、2、3的整數;p、r各自獨立表示選自0、1、2的整數;t、u各自獨立表示選自0、1、2、3、4的整數。
2.如權利要求1所述的感光性聚硅氧烷組合物,其中所述聚硅氧烷(B)是由式(5)所示的化合物聚合來形成,
Si(R10)W(OR11)4-W
式(5)
式(5)中,R10表示氫原子、碳數為1至10的烷基、碳數為2至10的烯基、碳數為6至15的芳香基、含有酸酐基的烷基、含有環氧基的烷基或含有環氧基的烷氧基;R11各自獨立表示氫原子、碳數為1至6的烷基、碳數為1至6的酰基或碳數為6至15的芳香基;w表示選自0、1、2、3的整數。
3.如權利要求1所述的感光性聚硅氧烷組合物,其中基于所述聚硅氧烷(B)100重量份,所述含氮的雜環化合物(A)的含量是0.005重量份至5重量份,所述鄰萘醌二疊氮磺酸酯(C)的含量是1重量份至50重量份,所述溶劑(D)的含量是50重量份至1200重量份。
4.一種保護膜,其特征在于,其包括如權利要求1至3中任一項所述的感光性聚硅氧烷組合物。
5.一種具有保護膜的元件,其特征在于,其包括元件以及如權利要求4所述的保護膜,其中所述保護膜覆蓋在所述元件上。
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