[發明專利]一種修復銅薄膜疲勞損傷的多次激光輻照處理方法

有效

• 申請號: 201410140479.9
• 申請日: 2014-04-09
• 公開（公告）號: CN103924177A
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: 尚德廣;劉鳳珠;郭毓博;任崇剛;劉小冬;張立紅;郭振坤
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: C22F1/08
• 分類號: C22F1/08
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司 11203
• 代理人: 沈波

1.一種修復銅薄膜疲勞損傷的多次激光輻照處理方法，其特征為：其步驟為，?

步驟1）：提供制備疲勞損傷裝置（4）和激光輻照修復裝置，所述制備疲勞損傷裝置（4）為微疲勞試驗機，通過上夾具（41）和下夾具（42）夾持銅薄膜試樣（5）；激光輻照修復裝置包括紫外準分子脈沖激光器（1）、光路裝置（2）、試樣固定裝置（3）和導軌（6），所述光路裝置（2）包括固定螺栓（21）、凸透鏡（22）、光路支架（23）和光路底座（24）；試樣固定裝置（3）包括金屬板（31）、磁鐵片（32）、固定裝置支架（33）和固定裝置底座（34）；首先，將光路支架（23）安裝到光路底座（24）上，所述光路支架（23）為雙節點套筒伸縮機構，其高度可通過底部的調節螺母自由調節；手持凸透鏡（22），將其放置在光路支架（23）內框架的中間位置，通過擰緊固定螺栓（21）將凸透鏡（22）固定住；其次，通過擰緊固定裝置支架（33）上的兩個螺栓將金屬板（31）安裝到固定裝置支架（33）上，再將固定裝置支架（33）安裝到固定裝置底座（34）上，固定裝置支架（33）的高度是可以調節的；最后，將導軌（6）放置在激光器（1）的正前方，再分別將光路裝置（2）和試樣固定裝置（3）放置在導軌（6）上；?

步驟2）：隨機選取銅薄膜試樣；利用2個磁鐵片（32）將銅薄膜試樣（5）固定在試樣固定裝置（3）中的金屬板（31）中心位置；?

步驟3）：調整光路裝置和試樣固定裝置的高度，使之與激光器發射口在一條直線上；?

步驟4）：通過調整光路裝置和試樣固定裝置在導軌上的位置來?調整激光光斑的大小；?

步驟5）：通過激光器控制系統控制單脈沖能量和脈沖個數進行激光輻照處理；?

步驟6）：激光輻照處理后，將銅薄膜試樣從試樣固定裝置上取下；?

步驟7）：通過微疲勞試驗機對試樣施加脈動循環，制備疲勞損傷；?

步驟8）：重復步驟2）、3）、4）、5）、6）、7），直至試樣斷裂。?

2.根據權利要求1所述的一種修復銅薄膜疲勞損傷的多次激光輻照處理方法，其特征在于：步驟1）中所述的脈沖激光器為紫外準分子脈沖激光器。?

3.根據權利要求1所述的一種修復銅薄膜疲勞損傷的多次激光輻照處理方法，其特征在于：整個過程中操作順序是先進行激光輻照再制備疲勞損傷。?

4.根據權利要求1所述的一種修復銅薄膜疲勞損傷的多次激光輻照處理方法，其特征在于：所述激光輻照處理和制備疲勞損傷直至試樣斷裂。?