[發(fā)明專利]基于多通道SQUID磁傳感器的三軸磁探測模塊

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410139130.3
• 申請日: 2014-04-09
• 公開（公告）號: CN103901362B
• 公開（公告）日: 2017-08-25
• 發(fā)明（設計）人: 徐婷;王會武;榮亮亮;常凱;侍文;蔣坤;邱隆清;伍俊;謝曉明
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所
• 主分類號: G01R33/035
• 分類號: G01R33/035;G01V3/40
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司31002
• 代理人: 潘振甦

1.一種基于多通道SQUID磁傳感器的三軸磁探測模塊的制作方法，其特征在于采用從上而下的方式制作，所述的三軸磁探測模塊分為載體和器件兩大部分，而且載體和器件制作可以分開并行完成；在制作模塊的過程中，先分別完成載體和超導SQUID磁傳感器器件制作，然后將這兩部分集成在一起，構成3軸模塊；2×2通道的具體制作步驟是：

首先，確定三軸模塊的尺寸參數(shù)，根據(jù)由模塊提供低溫環(huán)境的杜瓦尺寸確定模塊尺寸，模塊的尺寸與載體的尺寸相同，通常模塊的載體設計為立方體結構，載體材料的選擇是在低溫環(huán)境下性能穩(wěn)定的環(huán)氧材料，并利用機械加工技術制造出立方體載體，在載體上制作出螺孔輔助的機械結構；在制作完成后，測量立方體的表面平整度和各平面之間的角度，比對設計參數(shù)，調整并減小載體的結構誤差；

第二，在載體制作的同時，利用微加工工藝來制備超導SQUID磁傳感器器件，在器件制備完成后，根據(jù)三軸模塊每一個方向的尺寸，對器件進行封裝；在每一面上排列2×2通道陣列，為防止器件之間的串擾問題，需要在器件之間留有幾個厘米的間距；在器件封裝之后，將超導SQUID磁傳感器安裝于模塊之前，對每一個器件進行包括器件噪聲、磁場電壓轉換參數(shù)性能的測試性能測試和標定，并選擇性能接近的器件來制造磁探測模塊，保證器件性能的均一性；

第三，按照模塊的設計，將超導SQUID磁傳感器器件安裝于三軸模塊上，并對每一個方向的陣列進行性能測試，根據(jù)性能參數(shù)的測量反饋結果，不斷改進和完善三軸模塊；

第四，通過對器件、模塊制作步驟中的每一步的檢測，以保證磁探測模塊的質量。

2.按權利要求1所述的方法，其特征在于立方體結構的模塊的載體的邊長小于10厘米。