[發明專利]涂料組合物

有效

• 申請號: 201410138877.7
• 申請日: 2009-11-12
• 公開（公告）號: CN103869623B
• 公開（公告）日: 2017-07-21
• 發明（設計）人: F·M·霍利亨;張琳;A·D·迪奧瑟斯;M·李
• 申請（專利權）人: 默克專利有限公司
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039;G03F7/004;G03F7/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038
• 代理人: 柳冀

1.能夠用水性堿性顯影劑顯影并且涂在正作用光致抗蝕劑下面的正作用底部可光致成像抗反射涂料組合物，其中所述抗反射涂料組合物包含：

聚合物，該聚合物包含至少一種具有羥基和/或羧基的重復單元和至少一種具有吸收性發色團的重復單元；

乙烯基醚封端的交聯劑，和；

一種或多種具有式PAG-(L-(OH))_p的化合物，其中PAG是光酸產生劑；其中每個L是直接鍵或連接基；p是1-12。

2.權利要求1的組合物，其中p是2-6。

3.權利要求1的組合物，其中L是選自取代的烷基、未取代的烷基、取代的環烷基、未取代的環烷基、取代的芳基、未取代的芳基、取代的雜芳基、未取代的雜芳基、含有醚基的取代的烷基、含有醚基的未取代的烷基、含有酯基的取代的烷基和含有酯基的未取代的烷基的連接基。

4.權利要求1的組合物，其進一步包含一種或多種具有式Q-(-L-OH)_p的化合物，其中Q是淬滅劑；其中每個L是直接鍵或連接基；p是1-12。

5.權利要求1的組合物，其進一步包含熱酸產生劑。

6.權利要求1的組合物，其中PAG選自鹽、重氮甲烷衍生物、乙二肟衍生物、雙砜衍生物、N-羥基酰亞胺化合物的磺酸酯、β-酮磺酸衍生物、二砜衍生物、硝基芐基磺酸酯衍生物、芐氧基磺酰基苯衍生物和它們的混合物。

7.權利要求4的組合物，其中Q選自伯、仲和叔脂族胺，芳族胺，雜環胺，具有羧基的含氮化合物，具有磺?；暮衔铮哂辛u基的含氮化合物，具有羥苯基的含氮化合物，醇屬含氮化合物，酰胺衍生物，酰亞胺衍生物，具有下式I、II、III或IV的化合物

在化合物I中R_40a、R_40b、R_4Oc和R_40d選自氫，未取代或取代的直鏈、支鏈或環狀烷基、烯基，所述直鏈、支鏈或環狀烷基或烯基任選地含有一個或多個O原子，含6-20個碳原子的芳基，含7-12個碳原子的芳烷基或芳基氧代基烷基，或R_40b和R_40c一起可以形成環，當它們形成環時所述環中R_40b和R_40c中的每一個是含1-6個碳原子的亞烷基，D^—是具有-3至+7的pK_B值的堿性陰離子；

在化合物II中Ar是含6-20個碳原子的未取代或取代的芳基；R_10b和R_l0c獨立地是未取代或取代的直鏈、支鏈或環狀烷基、烯基，所述直鏈、支鏈或環狀烷基或烯基任選地含一個或多個O原子，含6-20個碳原子的芳基，含7-12個碳原子的芳烷基或芳基氧代烷基，或R_10b和R_10c一起可以形成環，當它們形成環時所述環中R_10b和R_10c各自是含1-6個碳原子的亞烷基，D^—如上面所限定；

在化合物III和IV中R_a代表(CH₂)_i4其中i4是0或1，O或S；R₅₀和R₆₀與R_10b代表相同的含義，或R₅₀和R₆₀與它們所連接的S原子一起形成可以是未取代或取代的5-、6-或7-元環；R₈₀、R₉₀和R₁₀₀各自獨立代表C_1-4烷基、C_1-4烷氧基或鹵化物；i1和i2各自是1-4；i3是1-5；和D—如上面所限定。

8.權利要求1的組合物，其中聚合物選自：(i)包含至少一種具有酸不穩定基團的重復單元的聚合物；(ii)包含至少一種具有酸不穩定基團的重復單元和至少一種具有吸收性發色團的重復單元的聚合物，或(iii)包含至少一種具有羥基和/或羧基的重復單元和至少一種具有吸收性發色團的重復單元的聚合物。

9.權利要求8的組合物，其中當所述聚合物是(i)或(iii)時，所述組合物還包含染料。