[發明專利]校準包含傳感器的器件的方法及設備

在審

• 申請號: 201410138031.3
• 申請日: 2014-04-08
• 公開（公告）號: CN104101373A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發明（設計）人: R·P·塞斯戈;P·T·瓊斯;S·K·帕蘭孫;J·D·斯坦利;W·D·麥克赫特爾
• 申請（專利權）人: 飛思卡爾半導體公司
• 主分類號: G01D18/00
• 分類號: G01D18/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 申發振

技術領域

本發明描述的主題的實施例通常涉及校準包含一個或多個傳感器的器件的方法及設備。

背景技術

加速計正在被納入不斷擴大的各種電子系統中。例如，MEMS（微機電系統）加速計目前常用于汽車系統和消費電子以及工業電子產品。

在制作MEMS加速計之后，校準處理通常是在工廠中執行的以確定每個加速計傳感軸的修整調整值(trim?adjustment)。修整調整值可以隨后被存儲在器件內的存儲器中，其中加速計被最終合并在所述器件內。

校準加速計的常規方法往往要么是使用昂貴的器件處理和校準設備，要么以低水平的自動化度和/或并行度(parallelism)（例如，只有單一的器件或少量的器件可以同時被校準）來執行校準。高昂的設備費用和/或自動化和/或并行度中的缺陷不利地影響了加速計的制作成本。加速器制造商通過以較低的利潤提供產品和/或通過將其相對較高的制作成本包含在他們的產品定價中，而被迫承擔費用，從而潛在地使得其產品在市場上有較小的競爭力。

附圖說明

在結合以下附圖考慮的同時，通過參考詳細說明書和權利要求，對本發明主題會有更加全面的理解，其中附圖中相似的參考符號指示相似的元件。

圖1根據示例實施例，是包含傳感器的器件的外形圖;

圖2根據示例實施例，是包括了多個傳感器的器件的簡化方框圖;

圖3根據示例實施例，是器件校準系統的簡化方框圖；

圖4根據示例實施例，是校準板的頂視圖，其中多個包含傳感器的器件被安裝在所述校準板的插座內；

圖5根據示例實施例，是用于制作和校準多個包含傳感器的器件的方法的流程圖；

圖6根據示例實施例，是包括了以相對于固定坐標系的第一取向（oritantion）而取向的板支撐結構的器件處理系統的外形圖；

圖7根據示例實施例，是圖6的器件處理系統的外形圖，其中板支撐結構以相對于所述固定坐標系的第二取向而取向；

圖8根據示例實施例，是用于校準多個包含傳感器的器件的方法的流程圖；

圖9根據示例實施例，說明了通過其系統可以將包含傳感器器件關于固定坐標系放置的預定序列取向的例子；而且

圖10根據另一個示例實施例，說明了通過其系統可以將包含傳感器器件關于固定坐標系放置的預定序列取向的例子。

具體實施方式

下面的詳細描述本質上僅僅是說明性的，并不旨在限定本發明主題的實施例或這些實施例的應用或使用。正如本發明所使用的，詞語“示例的”指“充當例子、實例或說明”。本發明中所描述的任何作為“示例的”或者“例示”的實施方式或者實施例不必被解釋為比其它實施或實施例優先或有利。此外，不旨在被前述技術領域、背景技術、或以下詳細描述中的任何明示或暗示的理論所限定。

本發明描述的主題的實施例包括用于校準（或“修整”）包含了一個或多個傳感器的器件（“包含傳感器的器件(transducer-including?device)”），更具體地說是包含了一個或多個被配置以感測重力、運動（例如，加速、旋轉）、電磁場強度、壓力等等的傳感器(sensor)的器件的方法及設備。例如，本發明討論的校準方法和設備的各種實施例可以結合具有一個或多個加速計、陀螺儀、磁強計（或“磁性傳感器”）、壓力傳感器和/或其它類型傳感器的任意組合的器件。實施例更具體地說涉及包含在封裝器件內的校準傳感器，其中所述傳感器產生表示相對于一個或多個器件固定軸或表面的各種加速度、力和/或場的大小的電信號。可使用各種校準方法和設備被校準的封裝器件的例子結合圖1在下面進行討論。

更具體地說，圖1根據示例實施例，是包含傳感器的器件100的外形圖。器件100包括封裝在封裝體內的各種內部電氣組件（例如，傳感器和其它組件）。例如，正如將要結合圖2更詳細討論的，器件100可以包括一個或多個加速計（例如，圖2的加速計212-214）、陀螺儀（例如，圖2的陀螺儀222-224）、磁強計（例如，圖2的磁強計232-234）、壓力傳感器和/或其它類型傳感器的任意組合。