[發明專利]一種表面缺陷檢測系統及方法在審
| 申請號： | 201410137051.9 | 申請日： | 2014-04-08 |
| 公開（公告）號： | CN104977306A | 公開（公告）日： | 2015-10-14 |
| 發明（設計）人： | 李學來;張俊;李志丹 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/89 | 分類號： | G01N21/89 |
| 代理公司： | 北京連和連知識產權代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光輝 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面 缺陷 檢測 系統 方法 | ||
1.一種表面缺陷檢測系統，包括檢測對象、承放所述檢測對象的支持臺、檢測裝置，?
所述檢測裝置包括：照明系統、物鏡、圖形探測器和主控計算機；?
其特征在于，所述支持臺為旋轉支持臺；所述物鏡在直線運動導軌上，所述直線運動導軌位于所述旋轉支持臺的上方。?
2.根據權利要求1所述的檢測系統，其中，所述檢測對象為晶圓或者硅片。?
3.根據權利要求2所述的檢測系統，其中，所述旋轉支持臺包括旋轉臺和硅片臺，所述轉動臺能帶動所述硅片臺繞中軸水平旋轉。?
4.根據權利要求3所述的檢測系統，其中，所述轉動臺的轉動速度可調，且帶有角度編碼器。?
5.根據權利要求1所述的檢測系統，其中，所述照明系統包括光源、光學整形單元和勻光單元。?
6.根據權利要求1所述的檢測系統，其中，所述圖形探測器為相機、CCD探測器或CMOS探測器。?
7.根據權利要求5所述的檢測系統，其中，還包括分光鏡和反光鏡，所述分光鏡用于引導光源通過所述物鏡照射到所述被測對象上，所述反光鏡用于將帶有被測對象表面信息的光束反射到圖形探測器中。?
8.一種利用權利要求1-7之一所述的檢測系統進行檢測的方法，包括以下步驟：?
步驟一：將所述被測對象傳到所述支持臺上；?
步驟二：對所述被測對象進行對準和調平；?
步驟三：沿著所述直線運動導軌移動所述物鏡，轉動所述轉動支持臺，帶動所述被測對象旋轉，同時利用所述圖形探測器同步采集所述被測對象的表面圖像，并將圖像信號傳送給所述主控計算機；?
步驟四：判斷所述被測對象表面的圖像是否已采集完，若是，則進入步驟五，否則重復步驟三；?
步驟五：利用所述主控計算機對采集到的所述表面圖像進行對比和分析處理，并在顯示器上顯示檢測結果；?
步驟六：下所述被測對象并結束檢測過程。?
9.根據權利要求8所述的方法，其中，所述步驟三中采用由外向內或者由內向外逐圈掃描的方式。?
10.根據權利要求8所述的方法，其中，掃描過程中各圈的線速度相同。?
11.根據權利要求8所述的方法，其中，所述步驟三中所述被測對象和所述物鏡同步移動，構成螺旋狀的掃描軌跡。?
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