[發(fā)明專利]檢測(cè)使用機(jī)械臂的機(jī)械操作中的位置偏移的裝置和方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410136644.3
• 申請(qǐng)日: 2014-04-04
• 公開（公告）號(hào): CN104101312A
• 公開（公告）日: 2014-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許民撰;鐘瑋群
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 思捷昵私人有限公司
• 主分類號(hào): G01B21/00
• 分類號(hào): G01B21/00;H01L21/66
• 代理公司: 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 歸瑩;張穎玲

1.一種用于檢測(cè)使用機(jī)械臂的機(jī)械操作中的位置偏移的裝置，所述機(jī)械臂用于在半導(dǎo)體基體上進(jìn)行操作，所述機(jī)械臂和所述半導(dǎo)體基體被配置為彼此之間進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)，所述裝置包括：

輸入端，所述輸入端用于接收來(lái)自安裝在所述機(jī)械臂上的傳感器的輸入信號(hào)；

檢測(cè)器，所述檢測(cè)器通過所述輸入信號(hào)進(jìn)行所述機(jī)械臂和所述半導(dǎo)體基體之間存在預(yù)定距離的檢測(cè)；其中，

所述裝置被配置為通過所述檢測(cè)來(lái)確定是否存在位置偏移。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，所述裝置被配置為通過獲取與所述機(jī)械臂和所述半導(dǎo)體基體之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的動(dòng)作有關(guān)的運(yùn)動(dòng)信息，并且通過將所述運(yùn)動(dòng)信息與所預(yù)期的相對(duì)運(yùn)動(dòng)的動(dòng)作信息進(jìn)行比較來(lái)檢測(cè)是否存在位置偏移，所述運(yùn)動(dòng)信息涉及所述機(jī)械臂和所述半導(dǎo)體基體之間從參考位置到所述預(yù)定距離的運(yùn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，所述裝置被配置為當(dāng)所述機(jī)械臂和所述半導(dǎo)體基體中的一者在所述機(jī)械臂和所述半導(dǎo)體基體之間產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)以便所述機(jī)械臂在所述半導(dǎo)體基體上進(jìn)行操作之前靜止時(shí)，將所述機(jī)械臂和所述半導(dǎo)體基體中的所述一者的位置作為所述參考位置進(jìn)行檢測(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，所述裝置被配置為當(dāng)所述機(jī)械臂在其被移動(dòng)以在所述半導(dǎo)體基體上進(jìn)行操作之前靜止時(shí)，檢測(cè)所述參考位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，所述裝置被配置為通過從安裝在所述機(jī)械臂上的第二傳感器接收的第二輸入信號(hào)來(lái)檢測(cè)所述參考位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求2-5中任一項(xiàng)所述的裝置，所述裝置被配置為將計(jì)時(shí)信息作為所述運(yùn)動(dòng)信息進(jìn)行獲取，所述計(jì)時(shí)信息與所述機(jī)械臂從所述參考位置處移動(dòng)至距所述半導(dǎo)體基體為所述預(yù)定距離處的時(shí)間有關(guān)。

7.根據(jù)權(quán)利要求2-6中任一項(xiàng)所述的裝置，所述裝置被配置為將距離信息作為所述運(yùn)動(dòng)信息進(jìn)行獲取，所述距離信息與所述機(jī)械臂從所述參考位置處移動(dòng)至距所述半導(dǎo)體基體為所述預(yù)定距離處的行進(jìn)距離有關(guān)。

8.根據(jù)前述任意一項(xiàng)權(quán)利要求所述的裝置，所述裝置被配置為將指示所述傳感器與所述半導(dǎo)體基體的邊緣對(duì)準(zhǔn)的信號(hào)作為所述輸入信號(hào)進(jìn)行接收。

9.一種用于檢測(cè)使用機(jī)械臂的機(jī)械操作中的位置偏移的方法，所述機(jī)械臂用于在半導(dǎo)體基體上進(jìn)行操作，所述機(jī)械臂和所述半導(dǎo)體基體被配置為彼此之間進(jìn)行相對(duì)運(yùn)動(dòng)，所述方法包括：

接收來(lái)自安裝在所述機(jī)械臂上的傳感器的輸入信號(hào)；

通過所述輸入信號(hào)進(jìn)行所述機(jī)械臂和所述半導(dǎo)體基體之間存在預(yù)定距離的檢測(cè)；

通過所述檢測(cè)確定是否存在位置偏移。