[發(fā)明專利]一種改進(jìn)的微波等離子體炬裝置及應(yīng)用

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410135897.9
• 申請(qǐng)日: 2014-04-06
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103945631A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 于丙文;金偉;金欽漢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江大學(xué)
• 主分類號(hào): H05H1/30
• 分類號(hào): H05H1/30
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 張法高;趙杭麗

1.?一種改進(jìn)的微波等離子體炬裝置，其特征在于，該裝置主要由外管（1）、中管（2）、內(nèi)管（3）、多孔同軸定心墊片（4）、耦合環(huán)（5）、耦合接頭（6）、調(diào)諧滑桿（7）、調(diào)諧螺母（8）、炬管氣路轉(zhuǎn)接頭（9）、氣路接口螺柱（10）以及多個(gè)限位螺釘（18）組成，其中，外管（1）內(nèi)徑為20-28?mm，中管（2）外徑為5?-10?mm，外管（1）和中管（2）徑比為2.3-5，內(nèi)管（3）半徑為1-3?mm，外管（1）、中管（2）和內(nèi)管（3）為三管同軸結(jié)構(gòu)，多孔同軸定心墊片（4）?位于內(nèi)管（3）和中管（2）之間，該多孔同軸定心墊片（4）帶有多個(gè)對(duì)稱小孔以便氣路流通，耦合環(huán)（5）內(nèi)壁與中管（2）外壁物理接觸，并與耦合接頭（6）相連，炬管氣路轉(zhuǎn)接頭（9）位于外管（1）下方，通過(guò)限位螺釘（18）固定其縱向位置，氣路接口螺柱（10）與其相連，調(diào)諧螺母（8）位于外管（1）下端內(nèi)部，在限位螺釘（18）的作用下只能轉(zhuǎn)動(dòng)不能上下位移，調(diào)諧滑桿（7）位于調(diào)諧螺母（8）內(nèi)，兩者通過(guò)螺紋結(jié)構(gòu)嚙合，調(diào)諧滑桿（7）在限位螺釘（18）的作用下只能上下滑動(dòng)位移不能轉(zhuǎn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的微波等離子體炬裝置，其特征在于，外管（1）包括屏蔽氣接口（11）、滑桿限位孔（12）、螺母限位孔（13）、調(diào)節(jié)窗（14）、氣路轉(zhuǎn)接頭限位孔（15）、調(diào)諧滑孔（16）、耦合窗（17），其中屏蔽氣接口（11）入口方向與外管（1）內(nèi)孔相切，使得由屏蔽氣接口（11）進(jìn)入的氣體在腔體內(nèi)形成切向流，滑桿限位孔（12）通過(guò)螺紋結(jié)構(gòu)配合限位螺釘（18）使用，限制調(diào)諧滑桿（7）在調(diào)諧滑孔（16）中實(shí)現(xiàn)上下滑動(dòng)而不旋轉(zhuǎn)，螺母限位孔（13）為對(duì)稱分布的多孔結(jié)構(gòu)，它通過(guò)螺紋結(jié)構(gòu)配合限位螺釘（18）使用，限制調(diào)諧螺母（8）在外管（1）中的縱向位置，使其僅能夠通過(guò)調(diào)節(jié)窗（14）實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)功能，氣路轉(zhuǎn)接頭限位孔（15）通過(guò)螺紋結(jié)構(gòu)配合限位螺釘（18）使用，調(diào)諧滑孔（16）直徑小于外管（1）內(nèi)徑，與調(diào)諧滑桿（7）外徑匹配，耦合窗（17）用于安裝固定耦合接頭（6）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的微波等離子體炬裝置，其特征在于，調(diào)諧滑桿（7）包括反射端（21）、滑桿內(nèi)孔）22）、滑桿滑槽（23）、滑桿外螺紋（24）和調(diào)諧活塞（25），其中滑桿內(nèi)孔（22）與中管（2）外徑匹配以實(shí)現(xiàn)上下滑動(dòng)，滑桿滑槽（23）寬度與限位螺釘（18）相適，調(diào)諧活塞（25）外徑與外管（1）內(nèi)徑相匹配以實(shí)現(xiàn)上下滑動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的微波等離子體炬裝置，其特征在于，調(diào)諧螺母（8）包括上輪廓（31）、旋轉(zhuǎn)滑槽（32）、調(diào)節(jié)面（33）、下輪廓(34)、螺母內(nèi)螺紋(35)，其中上輪廓（31）與下輪廓（34）的外徑與調(diào)節(jié)窗（14）位置處外管（1）的內(nèi)徑相適，旋轉(zhuǎn)滑槽（32）縱向高度與限位螺釘（18）相適，調(diào)節(jié)面（33）表面為齒輪結(jié)構(gòu)或滾花結(jié)構(gòu)，螺母內(nèi)螺紋（35）與滑桿外螺紋（24）匹配，實(shí)現(xiàn)調(diào)諧滑桿（7）與調(diào)諧螺母（8）通過(guò)螺紋結(jié)構(gòu)嚙合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的微波等離子體炬裝置，其特征在于，所述的炬管氣路轉(zhuǎn)接頭（9）包括中管螺紋孔（41）、轉(zhuǎn)接頭旋轉(zhuǎn)滑槽（42）、工作氣螺紋孔（43）、內(nèi)管螺紋孔（44），其中中管螺紋孔（41）通過(guò)螺紋結(jié)構(gòu)固定連接中管（2），工作氣螺紋孔（43）與氣路接口螺柱連接將工作氣體引入到中管（2）中，內(nèi)管螺紋孔44通過(guò)螺紋結(jié)構(gòu)固定連接內(nèi)管(3)，轉(zhuǎn)接頭旋轉(zhuǎn)滑槽(42)縱向高度不低于限位螺釘(18)的外徑。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的微波等離子體炬裝置，其特征在于，外管（1）、中管（2）與調(diào)諧滑桿（7）的反射端（21）形成一端開(kāi)放式的諧振。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改進(jìn)的微波等離子體炬裝置在光譜儀產(chǎn)品中的應(yīng)用。