[發(fā)明專利]原子力顯微鏡跨尺度高精度進(jìn)樣機(jī)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410135574.X
• 申請日: 2014-04-06
• 公開（公告）號: CN103941044A
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 許林;方勇純;任逍
• 申請（專利權(quán)）人: 南開大學(xué)
• 主分類號: G01Q60/24
• 分類號: G01Q60/24
• 代理公司: 天津佳盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12002
• 代理人: 侯力

1.一種原子力顯微鏡跨尺度高精度進(jìn)樣機(jī)構(gòu)，其特征在于該機(jī)構(gòu)包括：底座（1）；底座（1）上安裝X方向的絲杠螺母機(jī)構(gòu)（2）；X方向絲杠螺母機(jī)構(gòu)（2）包括X方向步進(jìn)電機(jī)（201），X方向聯(lián)軸節(jié)（202），X方向螺母（203），X方向絲杠（204）；X方向螺母（203）上安裝Y方向的絲杠螺母機(jī)構(gòu)（3），Y方向絲杠螺母機(jī)構(gòu)與X方向絲杠螺母機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)相同，安裝方向正交90°；Y方向絲杠螺母機(jī)構(gòu)中的Y方向螺母上安裝X方向壓電陶瓷（4）；X方向壓電陶瓷（4）上安裝Y方向壓電陶瓷（5）；Y方向壓電陶瓷（5）上安裝樣品托臺（6）；底座（1）上方通過支撐桿（11）固定安裝有一個原子力顯微鏡固定座（10），固定座上安裝三套螺桿伸縮機(jī)構(gòu)（7），原子力顯微鏡（8）安放在三套螺桿伸縮機(jī)構(gòu)中的三根伸縮螺桿頂部，通過控制伸縮螺桿的升降高度，調(diào)整原子力顯微鏡與樣品托臺（6）之間的距離和水平度，以適應(yīng)對樣品（9）的掃描。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原子力顯微鏡跨尺度高精度進(jìn)樣機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的螺桿伸縮機(jī)構(gòu)（7）包括原子力顯微鏡固定座下表面固定的電機(jī)座（702），電機(jī)座（702）上安裝的步進(jìn)電機(jī)（701），步進(jìn)電機(jī)（701）輸出軸通過滑套聯(lián)軸節(jié)（703）與伸縮螺桿（704）連接，伸縮螺桿頂端安裝有一個鋼珠（705）；三根伸縮螺桿頂部的三個鋼珠所在的平面決定了原子力顯微鏡（8）的高度和角度。