[發(fā)明專利]一種自組裝球型陣列的SERS基底及制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410133245.1
• 申請日: 2014-04-03
• 公開（公告）號: CN103938158A
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李康;徐宗偉;房豐洲;林楓;劉婷;李云濤
• 申請（專利權(quán)）人: 天津大學(xué)
• 主分類號: C23C14/14
• 分類號: C23C14/14;C23C14/02;G01N21/65;B82Y40/00
• 代理公司: 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 12201
• 代理人: 程毓英

1.一種自組裝球型陣列的SERS基底，在經(jīng)過清洗和親水性改性處理的基片上設(shè)置有一層密排列的納米微球陣列作為SERS基底的支撐層，再在支撐層上蒸鍍一層活性貴金屬層薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SERS基底，其特征在于，納米微球為聚苯乙烯或二氧化硅納米微球。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SERS基底，其特征在于，所述的基片可由單晶硅、多晶硅、二氧化硅、氮化硅或鉻材料制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的SERS基底，其特征在于，所述活性層貴族金屬為金、銀、銅、鉻貴族金屬。

5.一種自組裝球型陣列的SERS基底的制備方法，包括下列步驟：

（1）配制食人魚洗液及氨水和過氧化氫的混合溶液；

（2）配制一定濃度的納米球溶液；

（3）將基片先后浸入食人魚洗液及氨水和過氧化氫的混合溶液進(jìn)行超聲處理，去除Si片表面有機(jī)物的殘留的同時使其有極好的親水性；

（4）移取配制好的納米球溶液垂直滴在基片上，待自然風(fēng)干，使納米球發(fā)生自組裝，溶液蒸發(fā)后形成緊密排列的納米微球陣列，以此作為SERS基底的支撐層；

（5）在支撐層上蒸鍍貴族金屬薄膜。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，按照98%濃H₂SO₄：30%H₂O₂=3：1的體積比配制食人魚洗液，按照H₂O:NH₄OH:30%H₂O₂=5:1:1的體積比配制氨水和過氧化氫的混合溶液。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，步驟（2）中，納米球溶液的濃度選擇范圍為w/v=0.05%-5%，納米球為聚苯乙烯或二氧化硅納米微球。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述的基片由單晶硅、多晶硅、二氧化硅、氮化硅或鉻材料制成。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，步驟（5）中活性貴金屬層的蒸鍍方法采用離子真空蒸發(fā)鍍膜法、磁控濺射法、電子束蒸發(fā)或熱蒸鍍方法。

10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，步驟（5）中，將完成自組裝的基片放入離子蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，控制真空度范圍1×10^-2mbar-2×10^-2mbar、離子電流強(qiáng)度范圍為1mA-10mA和控制鍍膜時間，在基片上蒸鍍貴族金屬薄膜。