[發明專利]基于實時派工系統的機臺組下的晶圓批次派工方法和系統

有效

• 申請號: 201410133233.9
• 申請日: 2014-04-03
• 公開（公告）號: CN104977903B
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 趙晨;譚小兵
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種基于實時派工系統的機臺組下的晶圓批次派工方法，其特征在于，所述方法包括：

基于有效機臺信息和線上晶圓批次數據，設定一機臺組下每個機臺的負載端口的數量、每個機臺的實時派貨規則，以及各個機臺上派貨至該機臺的每個晶圓批次的預定時間規格；

實時獲取每個機臺正在處理的晶圓批次信息，并根據每個機臺的負載端口的數量和每個機臺正在處理的晶圓批次信息，計算出后續一段預估時間內各個機臺的空閑順序；

按照所述空閑順序依次更新每個機臺的實時派貨規則，并根據更新后實時派貨規則得到每個機臺的派貨結果；

其中，對任一所述機臺的實時派貨規則進行更新后，均釋放已派貨至該機臺且超過所述預定時間規格的晶圓批次，并將釋放的晶圓批次并入待派貨的晶圓批次中，然后再基于該待派貨晶圓批次對后續一所述機臺的實時派貨規則進行更新，且同一時刻一個晶圓批次只能派貨至一個機臺。

2.如權利要求1所述的派工方法，其特征在于，根據工藝需求設定每個機臺所對應加工的晶圓批次信息。

3.如權利要求1所述的派工方法，其特征在于，每個機臺預定晶圓批次的預定時間規格均大于所述預估時間。

4.如權利要求1所述的派工方法，其特征在于，每個機臺正在處理的晶圓批次信息包括：晶圓批次編號、TIT、FPT、T_N和T_E；

其中，TIT表示晶圓批次進入機臺的時間，FPT表示預計晶圓批次完成制程所需的時間，T_N表示當前時間，T_E表示所述預估時間。

5.如權利要求4所述的派工方法，其特征在于，所述各個機臺的空閑順序按照以下方式確定：

T_N+T_E-TIT-FTP的結果越大，表示其所對應的機臺的負載端口越早空閑，根據每個負載端口的空閑的時間不同，得到各負載端口的空閑順序，且以每個機臺中最先空閑的負載端口作為該機臺的最先空閑時間，以得到各機臺的空閑順序，從而得到所述空閑順序；

其中，當T_N+T_E-TIT-FTP>0時，表示機臺在后續的T_E內能夠對當前的晶圓批次結束制程，從而使機臺中對應的負載端口空閑；

當T_N+T_E-TIT-FTP<0時，表示機臺在后續的T_E內不能夠對當前的晶圓批次結束制程，從而機臺不空閑。

6.如權利要求5所述的派工方法，其特征在于，所述T_E根據生產過程中的實際需要進行設定。

7.一種基于實時派工系統的機臺組下的晶圓批次派工系統，其特征在于，所述系統包括：

機臺組下的有效機臺維護模塊，用于基于有效機臺信息和線上晶圓批次數據，設定一機臺組下每個機臺的負載端口的數量、每個機臺的實時派貨規則，以及各個機臺上派貨至該機臺的每個晶圓批次的預定時間規格；

機臺空閑計算模塊，通信連接于所述有效機臺維護模塊，用于實時獲取每個機臺正在處理的晶圓批次信息，根據每個機臺的負載端口的數量和每個機臺正在處理的晶圓批次信息，計算出后續一段預估時間內各個機臺的空閑順序；

機臺組下的派工監控模塊，通信連接于所述機臺空閑計算模塊，用于獲取所述空閑順序后，按照所述空閑順序依次更新每個機臺的實時派貨規則，并根據更新后實時派貨規則得到每個機臺的派貨結果；

機臺組的派工結果顯示模塊，通信連接于所述機臺組下的派工監控模塊，以獲取所述派貨結果后將所述派貨結果進行顯示；

其中，對任一所述機臺的實時派貨規則進行更新后，均釋放已派貨至該機臺且超過所述預定時間規格的晶圓批次，并將釋放的晶圓批次并入待派貨的晶圓批次中，然后再基于該待派貨晶圓批次對后續一所述機臺的實時派貨規則進行更新，且同一時刻一個晶圓批次只能派貨至一個機臺。