[發明專利]有機光電子器件的卷對卷制備設備及其制備方法

有效

• 申請號: 201410130950.6
• 申請日: 2014-03-24
• 公開（公告）號: CN103872266A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 冷重錢;史浩飛;羅偉;邵麗;尹韶云;杜春雷
• 申請（專利權）人: 中國科學院重慶綠色智能技術研究院
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56
• 代理公司: 北京同恒源知識產權代理有限公司 11275
• 代理人: 趙榮之

1.一種有機光電子器件的卷對卷制備設備，其特征在于：包括惰性氣體腔室和設置在惰性氣體腔室內的卷對卷傳輸裝置、有機功能層制備系統和陰極形成系統；所述有機功能層制備系統和陰極形成系統依次沿襯底材料傳輸方向先后設置。

2.根據權利要求1所述的有機光電子器件的卷對卷制備設備，其特征在于：所述惰性氣體腔室內還設置有水分析儀、氧分析儀、用于吸附水和氧的凈化柱和可再生的有機溶劑吸附柱。

3.根據權利要求2所述的有機光電子器件的卷對卷制備設備，其特征在于：所述卷對卷設備還設置有用于對惰性氣體腔室進行抽真空的真空泵和用于向惰性氣體腔室充惰氣的惰性氣瓶。

4.根據權利要求3所述的有機光電子器件的卷對卷制備設備，其特征在于：所述卷對卷傳輸裝置包括至少一個放料輥和收料輥，所述放料輥與收料輥之間還設置有多個用于傳輸器件材料的傳輸輥軸。

5.根據權利要求4所述的有機光電子器件的卷對卷制備設備，其特征在于：所述卷對卷傳輸裝置還設置有前后糾偏系統，所述的前后糾偏系統包括材料邊緣感應器和傳送修復裝置，所述材料邊緣感應器設置在放料輥和收料輥上，所述傳送修復裝置連接在放料輥和收料輥的軸上。

6.根據權利要求5所述的有機光電子器件的卷對卷制備設備，其特征在于：所述卷對卷傳輸裝置還包括張力控制系統，所述張力控制系統包括張力感應裝置和轉速控制裝置。

7.根據權利要求6所述的有機光電子器件的卷對卷制備設備，其特征在于：所述有機功能層制備系統包括用于形成有機濕膜的狹縫涂布系統和位于其后的有機溶劑揮發系統。

8.根據權利要求7所述的有機光電子器件的卷對卷制備設備，其特征在于：所述陰極形成系統包括陰極濕膜形成系統和位于其后用于烘干的揮發系統。

9.根據權利要求8所述的有機光電子器件的卷對卷制備設備，其特征在于：所述陰極濕膜形成系統包括刮刀系統、絲網印刷系統和噴墨打印系統。

10.利用權利要求9所述的卷對卷制備設備制造有機光電子器件的方法，其特征在于：包括如下步驟：

1）、利用真空泵、惰性氣瓶、水分析儀、氧分析儀和凈化柱使惰性氣體腔室內處于無水無氧狀態；

2）、將帶有陽極層的柔性襯底材料設置于放料輥上，所述襯底材料的開放端纏繞在收料輥上，以相同速度轉動放料輥和收料輥，使襯底材料沿規定路線傳輸；

3）、利用狹縫涂布系統使柔性襯底材料涂布上有機功能層，然后經過有機溶劑揮發系統使柔性襯底材料上的有機功能層形成性質穩定的器件功能層；

4）、最后利用陰極形成系統在柔性襯底材料上制備出器件陰極層。