[發明專利]一種雙焦點微透鏡陣列的微米壓印與激光誘導成形方法

有效

• 申請號: 201410122627.4
• 申請日: 2014-03-28
• 公開（公告）號: CN103852972A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 邵金友;丁玉成;李智鋼;劉嘉偉;李祥明;田洪淼
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 賀建斌

1.一種雙焦點微透鏡陣列的微米壓印與激光誘導成形方法，其特征在于，包括下列步驟：

1）初級微透鏡初始凹模制備，根據初級微透鏡的結構要求，采用有機聚合物電潤濕法制備微透鏡初始凹模，電潤濕法制備微透鏡初始凹模過程中，ITO導電玻璃上覆蓋厚度為50μm具有紫外固化性質的液態聚合物，將刻蝕好的硅模具蓋在聚合物上，在ITO端和硅模具端加上200V電壓，控制液態有機物對于硅模具壁的潤濕角大小，使液面形成所需的初級微透鏡曲面，經過紫外光固化后再分離硅模具即可獲得初級微透鏡初始凹模；

2）初級微透鏡結構陣列壓印，采用兩次PDMS翻模的方法基于微透鏡初始凹模制備出能用于壓印的PDMS微透鏡凹模陣列，在玻璃基材上制備能用于光致膨脹的聚合物薄膜，并且薄膜上勻上厚50μm的紫外固化膠，將PDMS凹模面與聚合物層貼合，并對其施加5e5Pa壓力，在95℃溫度下進行熱壓印，經過冷卻后脫模得到由光致膨脹性聚合物成形的初級微透鏡陣列；

3）次級微透鏡結構制備，利用同軸加工技術，將激光束聚焦在聚合物面初級微透鏡中心位置處，改變入射激光束大小以及聚焦透鏡組合以得到20μm到80μm不等的聚焦加工光斑，控制激光脈沖能量以及作用時間，在激光照射的位置引發聚合物光致膨脹反應獲得所需的次級隆起結構，周期性移動加工臺并循環上述操作制備出擁有兩級曲面的雙焦點微透鏡陣列；

4）雙焦點微透鏡陣列的制備，利用加工好的具有兩級曲面的聚合物雙焦點微透鏡結構陣列，通過翻模獲得雙焦點微透鏡硬質凹模，再利用壓印或有機物填充技術獲得所需的雙焦點微透鏡。