[發明專利]超常壓化學氣相沉積裝置

有效

• 申請號: 201410122524.8
• 申請日: 2014-03-31
• 公開（公告）號: CN104947087B
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發明（設計）人: 甘志銀;胡少林
• 申請（專利權）人: 甘志銀
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種超常壓化學氣相沉積裝置，主要包括：保壓外殼(1)、保壓腔體(2)、氣體導入部件(3)、反應腔體(4)、反應腔體外殼(5)、載片盤(6)、襯底(7)、載片盤支撐(8)、加熱部件(9)、加熱部件支撐(10)、底座(11)、尾氣出口(12)、外部接口(13)，其特征在于所述保壓腔體(2)位于保壓外殼(1)和反應腔體外殼(5)之間，設置保壓腔體(2)的工作壓力高于反應腔體外殼(5)內反應腔體(4)的工作壓力，以保證反應腔體(4)相對于保壓腔體(2)為負壓狀態。

2.根據權利要求1所述的超常壓化學氣相沉積裝置，其特征在于所述保壓外殼(1)或底座(11)上根據需要設置一個以上用于冷卻水、檢測或調節信號、電、反應氣體及其載氣輸入輸出的外部接口(13)，所述外部接口(13)使用時須保證保壓腔體(2)良好的密封性。

3.根據權利要求1或2所述的超常壓化學氣相沉積裝置，其特征在于所述保壓外殼(1)上設置有觀察窗口(14)。