[發明專利]一種三維納米結構聲表面波氣敏傳感器無效
| 申請號： | 201410121759.5 | 申請日： | 2014-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN103868818A | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發明（設計）人： | 王露;楊靖;馬晉毅;杜波;江洪敏;司美菊;王登攀;祖小濤;李志杰;唐永亮 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第二十六研究所 |
| 主分類號： | G01N5/02 | 分類號： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 重慶博凱知識產權代理有限公司 50212 | 代理人： | 王海鳳 |
| 地址： | 400060 *** | 國省代碼： | 重慶;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 三維 納米 結構 表面波 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種三維納米結構聲表面波氣敏傳感器，包括壓電基底（2），置于該壓電基底（2）表面且相互平行的輸入叉指電極IDT1（5）和輸出叉指電極IDT2（6）以及敏感區（4），所述敏感區（4）位于輸入叉指電極IDT1（5）和輸出叉指電極IDT2（6）之間，其特征在于，所述敏感區（4）上具有三維納米結構敏感膜，所述三維納米結構敏感膜包括生長在敏感區（4）上的改性三維納米線或納米管（7）及涂覆在敏感區表面的敏感膜（1），所述改性三維納米線或納米管（7）是指在外表面附著有敏感膜（1）的三維納米線或納米管（3）。
2.如權利要求1所述的三維納米結構聲表面波氣敏傳感器，其特征在于，所述改性三維納米線或納米管（7）在敏感區（4）呈整列式分布。
3.如權利要求1所述的三維納米結構聲表面波氣敏傳感器，其特征在于，所述改性三維納米線或納米管（7）的高度為2-5μm。
4.如權利要求1所述的三維納米結構聲表面波氣敏傳感器，其特征在于，所述改性三維納米線或納米管（7）的直徑為200-400?nm。
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