[發明專利]一種光刻投影物鏡微位移控制的電路結構

有效

• 申請號: 201410120352.0
• 申請日: 2014-03-27
• 公開（公告）號: CN103926800A
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: 李佩玥;崔洋;鄭楠;王學亮;徐立松
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B7/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所 22210
• 代理人: 南小平

1.一種光刻投影物鏡微位移控制的電路結構，其特征在于，包括算法與時序發生電路（7）、高壓驅動與數字電容采集電路（9）和電容模數轉換電路（14）；

所述算法與時序發生電路（7）和所述高壓驅動與數字電容采集電路（9）之間使用自定義協議通信，并通過VME總線技術規范中的P1連接器實現物理連接，所述高壓驅動與數字電容采集電路（9）和電容模數轉換電路（14）之間使用自定義協議通信，并通過低壓差分數字信號傳輸線纜實現物理連接；

所述電路結構采用N-111.2A壓電陶瓷驅動器（20）作為執行元件，采用D-E30.500電容傳感器（19）作為反饋元件。

2.根據權利要求1所述的一種光刻投影物鏡微位移控制的電路結構，其特征在于，所述算法與時序發生電路（7）包括OMAP-L138主控芯片（1）、XC5VLX50T芯片（3）和高精度DA轉換電路（5），所述OMAP-L138主控芯片（1）和XC5VLX50T芯片（3）之間通過異步總線（2）連接，所述XC5VLX50T芯片（3）和高精度DA轉換電路（5）之間通過低壓數字驅動信號傳輸鏈路（4）連接。

3.根據權利要求2所述的一種光刻投影物鏡微位移控制的電路結構，其特征在于所述高壓驅動與數字電容采集電路（9）包括低壓數字電容信號采集電路（10）和高壓驅動放大器（11），高壓驅動放大器（11）和高精度DA轉換電路（5）之間通過低壓模擬驅動信號傳輸鏈路（8）連接，低壓數字電容信號采集電路（10）和XC5VLX50T芯片（3）之間通過低壓數字電容信號傳輸鏈路（6）連接，高壓驅動放大器（11）和N-111.2A壓電陶瓷驅動器（20）之間通過高壓模擬信號傳輸鏈路（13）連接。

4.根據權利要求3所述的一種光刻投影物鏡微位移控制的電路結構，其特征在于所述電容模數轉換電路（14）包括模數轉換與協議封裝電路（15）和模擬電容信號采集電路（17）；模數轉換與協議封裝電路（15）和低壓數字電容信號采集電路（10）之間通過低壓數字差分信號傳輸鏈路（12）連接，模數轉換與協議封裝電路（15）和模擬電容信號采集電路（17）之間通過低壓模擬電容信號傳輸鏈路（16）連接，模擬電容信號采集電路（17）和D-E30.500電容傳感器（19）之間通過模擬電容信號傳輸鏈路（18）連接。

5.根據權利要求1或2所述的一種光刻投影物鏡微位移控制的電路結構，其特征在于所述OMAP-L138主控芯片（1）中，ARM926EJ-S核實現外部接口，C674x核實現模糊PID控制算法，采用Virtex-5系列FPGA?XC5VLX50T作為時序發生器和接口控制器。