[發明專利]非球面檢測中采用自準平面鏡測量光軸的方法有效
| 申請號： | 201410120021.7 | 申請日： | 2014-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN103926058A | 公開（公告）日： | 2014-07-16 |
| 發明（設計）人： | 陳新東;李銳剛;薛棟林;鄭立功 | 申請（專利權）人： | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G01M11/02 | 分類號： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標代理事務所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 球面 檢測 采用 平面鏡 測量 光軸 方法 | ||
【權利要求書】：
1.采用自準平面鏡測量光軸的方法，其特征是，該方法由以下步驟實現：
步驟一，干涉儀（1）與平面反射鏡（2）對準放置，調整平面反射鏡（2）的角度，使其將干涉儀（1）發出的平行光（3）反射，反射后的光在干涉儀（1）中形成的條紋無傾斜，即實現平面反射鏡（2）自準；
步驟二，采用激光跟蹤儀（4）分別進行測量點（5）及其鏡像點（6）的測量，獲取兩點空間坐標數據；去除平面反射鏡（2）；
步驟三，將補償器（8）裝至光路中，調整補償器（8）的角度，使其與干涉儀（1）對準；將調整裝調定位儀（9）裝至光路中，調整裝調定位儀（9）的位置和角度，使其與補償器（8）的光學表面對準；
步驟四，采用激光跟蹤儀（4）測量上述裝調定位儀（9）的匯聚中心點（11），獲取該匯聚中心點（11）的空間坐標數據，該匯聚中心點（11）為光軸上的一點；
步驟五，根據步驟二和步驟四獲取的測量點（5）、鏡像點（6）和光軸上匯聚中心點（11）的空間坐標數據，采用激光跟蹤儀（4）的三維空間坐標建模軟件，根據測量點（5）與鏡像點（6）連接的直線垂直于平面反射鏡（2）的原理，在模型中計算出代表光軸的直線；
步驟六，得到光軸后，即可通過測量鏡體特征對非球面反射鏡（10）進行定位，計算得到反射鏡的頂點曲率半徑等參數；重復步驟a至e，進行多次測量和精度分析。
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