[發明專利]一種利用表面斷裂強度檢測刻蝕表面質量的方法及裝置有效
| 申請號： | 201410119092.5 | 申請日： | 2014-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN103884605A | 公開（公告）日： | 2014-06-25 |
| 發明（設計）人： | 何軍;張大成;黃賢;張立;趙丹淇;王瑋;楊芳;田大宇;劉鵬;李婷;羅葵 | 申請（專利權）人： | 北京大學 |
| 主分類號： | G01N3/20 | 分類號： | G01N3/20 |
| 代理公司： | 北京君尚知識產權代理事務所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 余長江 |
| 地址： | 100871 北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 利用 表面 斷裂強度 檢測 刻蝕 質量 方法 裝置 | ||
1.一種利用表面斷裂強度檢測刻蝕表面質量的方法，其步驟包括：
1）制作包含刻蝕表面的等強度梁；
2）利用探針臺探針對所述等強度梁的刻蝕表面施加位移負載，直至所述等強度梁斷裂；
3）測量所述等強度梁斷裂時刻蝕表面受到的應力，得到表面斷裂強度，利用該斷裂強度判定刻蝕表面的質量。
2.如權利要求1所述的方法，其特征在于：步驟1）所述等強度梁上任意位置的寬度h與其到受力位置的距離x的關系為：
3.如權利要求1所述的方法，其特征在于：步驟2）所述探針臺探針通過片上多功能針頭對所述等強度梁的刻蝕表面施加位移負載，所述片上多功能針頭包括針尖，支撐針尖的彈性結構，以及測量所述針尖的位移的測力標尺。
4.如權利要求3所述的方法，其特征在于：所述支撐針尖的彈性結構為與所述針尖固定連接的彈性梁或者彈簧；所述測力標尺采用杠桿結構測量針尖的位移。
5.如權利要求3所述的方法，其特征在于：在所述片上多功能針頭上設置外圍的框架結構與防撞塊，用于減少探針臺探針施加方向的偏差對測量準確度的影響。
6.如權利要求3所述的方法，其特征在于：記錄等強度梁斷裂時片上多功能針尖的測力標尺的指數，或者實時記錄整個過程中測力標尺的指數，然后通過有限元仿真工具得到等強度梁斷裂時受到的力，再結合材料力學得到斷裂時刻蝕表面所受到的應力。
7.一種利用表面斷裂強度檢測刻蝕表面質量的裝置，其特征在于，包括等強度梁和片上多功能針頭；所述片上多功能針頭包括針尖，支撐針尖的彈性結構，以及測量所述針尖的位移的測力標尺。
8.如權利要求7所述的裝置，其特征在于：所述等強度梁上任意位置的寬度h與其到受力位置的距離x的關系為：
9.如權利要求7所述的裝置，其特征在于：所述支撐針尖的彈性結構為與所述針尖固定連接的彈性梁或者彈簧；所述測力標尺采用杠桿結構測量針尖的位移。
10.如權利要求7所述的裝置，其特征在于：所述片上多功能針頭還包括外圍的框架結構與防撞塊，用于減少探針臺探針施加方向的偏差對測量準確度的影響。
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