[發明專利]基于三光纖共球耦合的微測量力瞄準傳感器

有效

• 申請號: 201410118924.1
• 申請日: 2014-03-20
• 公開（公告）號: CN103900470B
• 公開（公告）日: 2017-01-11
• 發明（設計）人: 崔繼文;李俊英;譚久彬
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于三光纖共球耦合的微測量力瞄準傳感器，所述傳感器包括激光器(1)、擴束準直鏡(2)、光纖耦合透鏡(3)、導管(4)、探針(10)、顯微物鏡a(13)、CCD相機a(14)和計算機(15)，數據線將CCD相機a(14)與計算機(15)連通，探針(10)置于待測微孔(5)內，所述探針(10)包括入射光纖(6)、耦合器(7)和出射光纖a(8)，耦合器(7)作為探針(10)的觸點分別與入射光纖(6)和出射光纖a(8)連接，激光器(1)發出的光束經擴束準直鏡(2)和光纖耦合透鏡(3)后進入入射光纖(6)，光束經入射光纖(6)導入耦合器(7)后由出射光纖a(8)導出，導出光束經顯微物鏡a(13)進入CCD相機a(14)，其特征在于：所述探針(10)還包括出射光纖b(9)，所述出射光纖b(9)與耦合器(7)連接，且出射光纖b(9)的末端呈80-100°彎曲狀，光束經入射光纖(6)導入耦合器(7)后由出射光纖b(9)導出，導出光束經顯微物鏡b(11)進入CCD相機b(12)，數據線將CCD相機b(12)與計算機(15)連通。

2.根據權利要求1所述的基于三光纖共球耦合的微測量力瞄準傳感器，其特征在于：所述出射光纖b(9)的末端彎曲角度優選為90°。