[發明專利]微振動傳感器

有效

• 申請號: 201410118368.8
• 申請日: 2014-03-27
• 公開（公告）號: CN104953888B
• 公開（公告）日: 2017-01-18
• 發明（設計）人: 葉柏盈;王雪;崔婧
• 申請（專利權）人: 納米新能源（唐山）有限責任公司
• 主分類號: H02N1/04
• 分類號: H02N1/04;G01H11/06
• 代理公司: 北京市浩天知識產權代理事務所(普通合伙)11276
• 代理人: 宋菲,劉云貴

1.一種微振動傳感器，其特征在于，包括依次層疊設置的第一摩擦層，第一隔離層，中間摩擦層，第二隔離層和第二摩擦層；

所述第一摩擦層包括層疊的第一高分子聚合物絕緣層和第一接地電極；

所述第二摩擦層包括層疊的第二高分子聚合物絕緣層和第二接地電極；

所述中間摩擦層包括作為兩個信號輸出端的第一輸出電極和第二輸出電極，所述中間摩擦層具有懸臂梁結構，所述懸臂梁結構包括懸臂和主體部分；

所述第一隔離層和第二隔離層均具有與所述主體部分相適應的空腔；

所述主體部分的兩側表面分別通過所述第一隔離層的空腔和所述第二隔離層的空腔與所述第一摩擦層的第一高分子聚合物絕緣層和所述第二摩擦層的第二高分子聚合物絕緣層形成摩擦界面；所述中間摩擦層的懸臂梁結構以外的部分分別通過所述第一隔離層和第二隔離層與所述第一摩擦層的第一高分子聚合物絕緣層和第二摩擦層的第二高分子聚合物絕緣層粘接。

2.根據權利要求1所述的微振動傳感器，其特征在于，所述中間摩擦層還包括第三高分子聚合物絕緣層和第四高分子聚合物絕緣層；所述第一輸出電極設置在所述第三高分子聚合物絕緣層的第一側表面上，所述第二輸出電極設置在所述第四高分子聚合物絕緣層的第一側表面上，所述第一輸出電極和第二輸出電極相互絕緣粘接。

3.根據權利要求2所述的微振動傳感器，其特征在于，所述第一輸出電極和第二輸出電極通過蒸鍍、濺鍍、或刷涂方式分別制備在第三高分子聚合物絕緣層的第一側表面和第四高分子聚合物絕緣層的第一側表面上；所述第一輸出電極和第二輸出電極通過3M膠帶粘接。

4.根據權利要求2所述的微振動傳感器，其特征在于，所述第三高分子聚合物絕緣層的第二側表面通過所述第一隔離層的空腔與所述第一摩擦層的第一高分子聚合物絕緣層形成摩擦界面；所述第四高分子聚合物絕緣層的第二側表面通過所述第二隔離層的空腔與所述第二摩擦層的第二高分子聚合物絕緣層形成摩擦界面。

5.根據權利要求2所述的微振動傳感器，其特征在于，屬于所述懸臂梁結構的主體部分的第三高分子聚合物絕緣層的第二側表面和第四高分子聚合物絕緣層的第二側表面上還分別設置有第一居間薄膜層和第二居間薄膜層；

所述第一居間薄膜層通過所述第一隔離層的空腔與所述第一摩擦層的第一高分子聚合物絕緣層形成摩擦界面；所述第二居間薄膜層通過所述第二隔離層的空腔與所述第二摩擦層的第二高分子聚合物絕緣層形成摩擦界面。

6.根據權利要求5所述的微振動傳感器，其特征在于，所述第一居間薄膜層和第二居間薄膜層的材質分別選自聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚氯乙烯、聚乙烯、聚四氟乙烯、聚丙烯、聚二甲基硅氧烷、聚偏氟乙烯、氟化乙烯丙烯共聚物、聚三氟氯乙烯、聚酰亞胺和苯胺甲醛樹脂中的一種。

7.根據權利要求1所述的微振動傳感器，其特征在于，所述中間摩擦層還包括第五高分子聚合物絕緣層；所述第一輸出電極和第二輸出電極通過蒸鍍、濺鍍、或刷涂方式制備在所述第五高分子聚合物絕緣層的兩側表面上。

8.根據權利要求1-7任一項所述的微振動傳感器，其特征在于，所述第一接地電極、第二接地電極、第一輸出電極和第二輸出電極的材質為銅、銀、鈦、金、鋁、導電銀漿或銦錫氧化物、石墨烯、石墨。

9.根據權利要求1-7任一項所述的微振動傳感器，其特征在于，所述懸臂梁結構通過切割所述中間摩擦層制作；所述懸臂梁結構為單邊懸臂梁結構，或雙邊懸臂梁結構。

10.根據權利要求1-7任一項所述的微振動傳感器，其特征在于，所述懸臂梁結構的主體部分的形狀為長方形、正方形、圓形、橢圓型或六角形。

11.根據權利要求1-7任一項所述的微振動傳感器，其特征在于，所述第一隔離層和第二隔離層為3M膠帶。

12.根據權利要求2-6任一項所述的微振動傳感器，其特征在于，所述第三高分子聚合物絕緣層和第四高分子聚合物絕緣層的材質分別選自聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚氯乙烯、聚乙烯、聚四氟乙烯、聚丙烯、聚二甲基硅氧烷、聚偏氟乙烯、氟化乙烯丙烯共聚物、聚三氟氯乙烯、聚酰亞胺和苯胺甲醛樹脂中的一種。

13.根據權利要求1-7所述的微振動傳感器，其特征在于，所述第一高分子聚合物絕緣層和所述第二高分子聚合物絕緣層分別選自聚乙烯、聚丙烯、聚四氟乙烯、聚氯乙烯、聚全氟乙丙烯、尼龍、聚偏氟乙烯、氯化聚乙烯、氯磺化聚乙烯、硅橡膠、四氟乙烯-乙烯共聚物、聚三氟氯乙烯、聚苯乙烯、氯化聚醚、聚酰亞胺、聚酯、乙烯-醋酸乙烯共聚物、熱塑性硫化橡膠、熱塑性聚氨酯彈性體和三元乙丙橡膠中的一種。