[發(fā)明專利]一種氧化鈦復(fù)合涂層及其制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410116572.6 | 申請(qǐng)日: | 2014-03-26 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103834945A | 公開(公告)日: | 2014-06-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 劉宣勇;田雅馨 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 |
| 主分類號(hào): | C23C28/04 | 分類號(hào): | C23C28/04;C25D11/26;C23C14/48;C23C14/08 |
| 代理公司: | 上海瀚橋?qū)@硎聞?wù)所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲;鄭優(yōu)麗 |
| 地址: | 200050 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 氧化 復(fù)合 涂層 及其 制備 方法 | ||
1.一種氧化鈦復(fù)合涂層,其特征在于,所述氧化鈦復(fù)合涂層包括通過微弧氧化技術(shù)原位形成在鈦基金屬基材的表面的多孔氧化鈦涂層,以及通過等離子體浸沒離子注入技術(shù)復(fù)合在多孔氧化鈦涂層的氧化鐵納米顆粒,所述氧化鈦復(fù)合涂層中鐵元素的含量為1~15%。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氧化鈦復(fù)合涂層,其特征在于,所述氧化鈦復(fù)合涂層的厚度為3~15μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的氧化鈦復(fù)合涂層,其特征在于,所述多孔氧化鈦涂層中的孔的孔徑為小于5μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的氧化鈦復(fù)合涂層,其特征在于,所述氧化鐵納米顆粒的尺寸為5~13nm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一所述的氧化鈦復(fù)合涂層,其特征在于,所述鈦基金屬基材為純鈦或鈦合金。
6.一種制備權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述氧化鈦復(fù)合涂層的方法,其特征在于,包括:
(1)采用微弧氧化技術(shù)在鈦基金屬基材的表面形成多孔氧化鈦涂層;以及
(2)采用等離子體浸沒離子注入技術(shù)將鐵離子注入氧化鈦涂層,形成氧化鐵納米顆粒修飾的氧化鈦復(fù)合涂層。
7.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法,其特征在于,所述方法的步驟(1)中,以含有硅酸鹽和/或磷酸鹽的堿性溶液為電解液,所述鈦基金屬基材為陽極,不銹鋼為陰極,采用直流脈沖電源對(duì)所述鈦基金屬基材進(jìn)行微弧氧化處理,所述微弧氧化的參數(shù)為:電流密度0.1~5?A/cm2、電壓300~700?V、頻率500~2000?Hz、占空比10~80%。
8.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法,其特征在于,所述微弧氧化的時(shí)間為1~60分鐘。
9.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的方法,其特征在于,所述微弧氧化處理過程中保持所述電解液的溫度為60℃以下。
10.根據(jù)權(quán)利要求7-10中任一所述的方法,其特征在于,所述方法的步驟(2)中,等離子體浸沒離子注入的參數(shù)為:真空室溫度為20~80℃;真空度為3×10-3~5×10-3Pa;注入電壓10~40kV;脈寬為300~800μs;頻率為5~10Hz;注入處理時(shí)間0.5~2.0小時(shí)。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C28-00 用不包含在C23C 2/00至C23C 26/00各大組中單一組的方法,或用包含在C23C小類的方法與C25D小類中方法的組合以獲得至少二層疊加層的鍍覆
C23C28-02 .僅為金屬材料覆層
C23C28-04 .僅為無機(jī)非金屬材料覆層





