[發明專利]一種微流道壓力傳感器有效
| 申請號： | 201410116547.8 | 申請日： | 2014-03-26 |
| 公開（公告）號： | CN104949789B | 公開（公告）日： | 2017-10-31 |
| 發明（設計）人： | 桂林;牛波;高猛 | 申請（專利權）人： | 中國科學院理化技術研究所 |
| 主分類號： | G01L9/12 | 分類號： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 微流道 壓力傳感器 | ||
1.一種微流道壓力傳感器，其特征在于，所述微流道壓力傳感器包括被測流體旁支微流道(1)、微小電容信號測量電路(2)、液態微電極流道(3)；其中所述被測流體旁支微流道(1)為流體流道(7)開出的旁支或為所述流體流道(7)；所述被測流體旁支微流道(1)有微流道檢測段(4)；所述液態微電極流道(3)有液態微電極入口(5)和液態微電極出口(6)；
所述微流道檢測段(4)的兩側對稱布置兩個液態微電極流道(3)即第一液態微電極流道和第二液態微電極流道，所述微小電容信號測量電路(2)的一端連接所述第一液態微電極流道的液態微電極入口(5)和液態微電極出口(6)，其另一端連接第二液態微電極流道的液態微電極入口(5)和液態微電極出口(6)；
所述被測流體旁支微流道(1)為流體流道(7)開出的旁支時，所述微流道檢測段(4)位于所述被測流體旁支微流道(1)的遠離所述流體流道(7)的一端；所述被測流體旁支微流道(1)為流體流道(7)時，所述微流道檢測段(4)為所述流體流道(7)自身的一段流體流道。
2.根據權利要求1所述的微流道壓力傳感器，其特征在于，所述微流道檢測段(4)呈∪形和∩形交替的褶皺。
3.根據權利要求1所述的微流道壓力傳感器，其特征在于，所述液態微電極流道(3)在遠離所述微流道檢測段(4)的兩端分別設置液態微電極入口(5)和液態微電極出口(6)。
4.根據權利要求1所述的微流道壓力傳感器，其特征在于，所述液態微電極流道(3)灌注室溫條件下呈液態的汞或者鎵基合金。
5.根據權利要求1所述的微流道壓力傳感器，其特征在于，所述被測流體旁支微流道(1)、液態微電極流道(3)、流體流道(7)均集成于微流控芯片上。
6.根據權利要求5所述的微流道壓力傳感器，其特征在于，所述微流控芯片為有彈性的柔性材料。
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