[發明專利]SMA驅動的雙穩態反射鏡平動式光柵光調制器及其陣列

有效

• 申請號: 201410116373.5
• 申請日: 2014-03-26
• 公開（公告）號: CN103955056A
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 張智海;路遠;張文凱;高玲肖
• 申請（專利權）人: 重慶大學
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;B81B3/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.SMA驅動的雙穩態反射鏡平動式光柵光調制器，其特征在于包括：?

a基底；?

b基底之上形成的絕緣層；?

c位于絕緣層之上一定間距、由支撐梁支撐的可動平板，可動平板具有反射面，并由施加到支撐梁或的偏壓驅動做垂直上下移動；?

d用于支撐可動平板的支撐梁，該支撐梁由梁體和支撐柱組成，梁體的兩端通過支撐柱固定設置于絕緣層上，梁體的中部與可動平板固定連接，梁體的材料為形狀記憶合金SMA；?

e一個固定光柵，該固定光柵罩于上述部件組成的結構單元之上，并與基底固定，固定光柵與絕緣層之間為可動平板移動的空間間隙；?

f驅動電路，通過電極引出線連接支撐梁，可產生不同幅度、不同頻率的驅動電流。?

2.如權利要求1所述的SMA驅動的雙穩態反射鏡平動式光柵光調制器，其特征在于：所述支撐梁有兩根，交叉為十字形，中部與可動平板相連，支撐梁位于可動平板下方。?

3.如權利要求1所述的SMA驅動的雙穩態反射鏡平動式光柵光調制器，其特征在于：構成所述支撐梁的材料有雙層，上層為多晶硅，下層形狀記憶合金SMA的材料為TiNi合金，固定光柵、可動平板材料為鋁；絕緣層的材料為二氧化硅。?

4.如權利要求1至3中任一項所述的的SMA驅動的雙穩態反射鏡平動式光柵光調制器，其特征在于：固定光柵表面和可動平板之間的間距可變，在連接可動平板的彈性支撐梁不通過電流時，間距為nλ/2；而通過電流時，間距為(2n-1)λ/4。?

5.如權利要求1至4中任一項所述的SMA驅動的雙穩態反射鏡平動式光柵光調制器組成的光柵光調制器陣列，其特征在于：所述SMA驅動的雙穩態反射鏡平動式光柵光調制器組成的光柵光調制器陣列由至少2個SMA驅動的雙穩態反射鏡平動式光柵光調制器并列而成，其中每一個SMA驅動的雙穩態反射鏡平動式光柵光調制器均可在電流驅動裝置控制下獨立動作。?