[發(fā)明專(zhuān)利]基于雙層梳齒驅(qū)動(dòng)MEMS大轉(zhuǎn)角可動(dòng)閃耀光柵光調(diào)制器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410116359.5
• 申請(qǐng)日: 2014-03-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103901609A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張智海;張文凱;路遠(yuǎn);高玲肖
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 重慶大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G02B26/08
• 分類(lèi)號(hào): G02B26/08;B81B3/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.雙層梳齒驅(qū)動(dòng)的MEMS大轉(zhuǎn)角可動(dòng)閃耀光柵光調(diào)制器其特征在于：包括：包括硅襯底以及設(shè)置于硅襯底上的絕緣層，光柵通過(guò)彈性懸臂梁懸空支撐于絕緣層上方,主要由雙層梳齒驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、光柵鏡面、柔性梁、2個(gè)柱子、驅(qū)動(dòng)電路組成;其中，光柵鏡面與梳齒的動(dòng)齒連接在一起，然后通過(guò)柔性梁與柱子連接，兩個(gè)柱子固定在襯底表面，雙層梳齒驅(qū)動(dòng)由動(dòng)齒和定齒組成，動(dòng)齒交叉懸浮在定齒上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙層梳齒驅(qū)動(dòng)的MEMS大轉(zhuǎn)角可動(dòng)閃耀光柵光調(diào)制器，其特征在于：所述的動(dòng)齒分布在柔性梁兩側(cè)，交叉懸浮在兩側(cè)各自的定齒上方，動(dòng)齒和兩側(cè)各自的定齒上均分別裝設(shè)電極，驅(qū)動(dòng)電路在動(dòng)齒和兩側(cè)定齒間交替施加電壓，使得光柵面可以?xún)擅嫫D(zhuǎn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙層梳齒驅(qū)動(dòng)的MEMS大轉(zhuǎn)角可動(dòng)閃耀光柵光調(diào)制器，其特征在于：雙層梳齒驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)布局在中心的有效衍射光柵面兩端，而且寬度小于光柵鏡面帶寬。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的雙層梳齒驅(qū)動(dòng)的MEMS大轉(zhuǎn)角可動(dòng)閃耀光柵光調(diào)制器陣列，其特征在于：所述雙層梳齒驅(qū)動(dòng)的MEMS大轉(zhuǎn)角可動(dòng)閃耀光柵光調(diào)制器陣列由至少2個(gè)雙層梳齒驅(qū)動(dòng)的MEMS大轉(zhuǎn)角可動(dòng)閃耀光柵光調(diào)制器并列而成，其中每一個(gè)雙層梳齒驅(qū)動(dòng)的MEMS大轉(zhuǎn)角可動(dòng)閃耀光柵光調(diào)制器均可在驅(qū)動(dòng)電路控制下獨(dú)立動(dòng)作。