[發明專利]基于雙層梳齒驅動MEMS大轉角可動閃耀光柵光調制器

有效

• 申請號: 201410116359.5
• 申請日: 2014-03-26
• 公開（公告）號: CN103901609A
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 張智海;張文凱;路遠;高玲肖
• 申請（專利權）人: 重慶大學
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;B81B3/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.雙層梳齒驅動的MEMS大轉角可動閃耀光柵光調制器其特征在于：包括：包括硅襯底以及設置于硅襯底上的絕緣層，光柵通過彈性懸臂梁懸空支撐于絕緣層上方,主要由雙層梳齒驅動結構、光柵鏡面、柔性梁、2個柱子、驅動電路組成;其中，光柵鏡面與梳齒的動齒連接在一起，然后通過柔性梁與柱子連接，兩個柱子固定在襯底表面，雙層梳齒驅動由動齒和定齒組成，動齒交叉懸浮在定齒上方。

2.根據權利要求1所述的雙層梳齒驅動的MEMS大轉角可動閃耀光柵光調制器，其特征在于：所述的動齒分布在柔性梁兩側，交叉懸浮在兩側各自的定齒上方，動齒和兩側各自的定齒上均分別裝設電極，驅動電路在動齒和兩側定齒間交替施加電壓，使得光柵面可以兩面偏轉。

3.根據權利要求1所述的雙層梳齒驅動的MEMS大轉角可動閃耀光柵光調制器，其特征在于：雙層梳齒驅動結構布局在中心的有效衍射光柵面兩端，而且寬度小于光柵鏡面帶寬。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的雙層梳齒驅動的MEMS大轉角可動閃耀光柵光調制器陣列，其特征在于：所述雙層梳齒驅動的MEMS大轉角可動閃耀光柵光調制器陣列由至少2個雙層梳齒驅動的MEMS大轉角可動閃耀光柵光調制器并列而成，其中每一個雙層梳齒驅動的MEMS大轉角可動閃耀光柵光調制器均可在驅動電路控制下獨立動作。