[發(fā)明專利]物理量傳感器、電子設(shè)備及移動(dòng)體

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410116312.9
• 申請(qǐng)日: 2014-03-26
• 公開（公告）號(hào): CN104075737B
• 公開（公告）日: 2018-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 進(jìn)藤健彥;押尾政宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01D5/14
• 分類號(hào): G01D5/14
• 代理公司: 北京金信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11225
• 代理人: 黃威;蘇萌萌

本發(fā)明提供一種通過(guò)使傳感器元件的過(guò)驅(qū)動(dòng)能夠?qū)嵤亩煽s短老化試驗(yàn)的時(shí)間的物理量傳感器、以及使用了該物理量傳感器的電子設(shè)備及移動(dòng)體。物理量傳感器（1）包括：傳感器元件（20），其對(duì)預(yù)定的物理量進(jìn)行檢測(cè)；驅(qū)動(dòng)電路（111），其生成傳感器元件（20）的驅(qū)動(dòng)信號(hào)；AGC電路（112），其基于傳感器元件（20）的輸出信號(hào)，而將驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制為與基準(zhǔn)電壓相對(duì)應(yīng)的恒定電平，該基準(zhǔn)電壓是可變的。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種物理量傳感器、電子設(shè)備及移動(dòng)體。

背景技術(shù)

目前，在各種系統(tǒng)或電子設(shè)備中，廣泛利用了對(duì)加速度進(jìn)行檢測(cè)的加速度傳感器或?qū)撬俣冗M(jìn)行檢測(cè)的陀螺傳感器等的、能夠?qū)Ω鞣N物理量進(jìn)行檢測(cè)的物理量傳感器。近年來(lái)，因?qū)⑵浯钶d在汽車上等從而對(duì)各種物理量傳感器要求極高的可靠性。

例如，使用壓電振子的陀螺傳感器存在具有傳感器元件所具有的細(xì)微結(jié)晶缺陷或在制造工序上所產(chǎn)生的細(xì)微裂紋等的細(xì)微損傷的情況，從而存在隨著時(shí)間的推移以該缺陷或損傷部成為起點(diǎn)，而產(chǎn)生傳感器元件破損的情況。由于難以在出貨前的電特性檢查中檢測(cè)出所有的不良，因此在面向要求高可靠性的車載市場(chǎng)等的陀螺傳感器中，除了通常的電特性試驗(yàn)之外，為了對(duì)該元件破損進(jìn)行檢測(cè)，一般還投入到老化試驗(yàn)中。另外，在這種元件的不良檢測(cè)中，一般使用將壓電振子的驅(qū)動(dòng)電平提高到高于通常的使用電平的電平的過(guò)驅(qū)動(dòng)方法。

在專利文獻(xiàn)1中提出了一種如下的結(jié)構(gòu)，即，在以于電源和振蕩電路之間設(shè)置恒壓電路并向振蕩電路供給恒定電壓的方式而構(gòu)成的壓電振蕩器中，能夠使恒壓電路無(wú)效的結(jié)構(gòu)。根據(jù)該壓電振蕩器，由于能夠使恒壓電路無(wú)效，因此能夠通過(guò)使電源電壓發(fā)生變化從而對(duì)驅(qū)動(dòng)電平進(jìn)行變更。

另外，在專利文獻(xiàn)2中提出了一種如下的晶體振蕩器，其在振蕩電路中安裝電容值可變的外部負(fù)載電容器，并能夠根據(jù)由外部負(fù)載電容器的電容變化而產(chǎn)生的頻率變化量來(lái)實(shí)施良否判斷。根據(jù)該晶體振蕩器，不需要使恒壓電路的功能無(wú)效的這種附加電路。

另外，在專利文獻(xiàn)3中提出了一種如下的壓電振蕩器，其在壓電振子和振蕩電路之間設(shè)置開關(guān)電路，并能夠使壓電振子與振蕩電路分離。根據(jù)該壓電振蕩器，由于在用于清除異物等的過(guò)驅(qū)動(dòng)處理時(shí)，能夠使壓電振子與振蕩電路分離，因此能夠防止因高電壓施加而引起的振蕩電路的破損。

但是，在陀螺傳感器等物理量傳感器中，有時(shí)為了將輸出靈敏度保持為恒定而內(nèi)置AGC（Auto Gain Control：自動(dòng)增益控制）電路，由于即使施加與通常情況相比而較高的電源電壓以使其工作也不會(huì)出現(xiàn)過(guò)驅(qū)動(dòng)，因此即使原樣地應(yīng)用專利文獻(xiàn)1或?qū)＠墨I(xiàn)2的方法，傳感器元件的過(guò)驅(qū)動(dòng)電平也不會(huì)發(fā)生變化。因此，由于老化試驗(yàn)的投入時(shí)間變長(zhǎng)因而難以削減檢查成本，從而也難以對(duì)過(guò)驅(qū)動(dòng)電平特性進(jìn)行評(píng)價(jià)。另外，由于在專利文獻(xiàn)3的方法中需要從外部施加大振幅的AC電壓，因此對(duì)使用彎曲振動(dòng)的音叉型振子等的應(yīng)用可能會(huì)成為單純的破壞試驗(yàn)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2001－07648號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2004－120523號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本特開2004－328505號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于以上這種問(wèn)題點(diǎn)而完成的，其能夠提供一種通過(guò)使傳感器元件的過(guò)驅(qū)動(dòng)成為可能從而能夠縮短老化試驗(yàn)的時(shí)間的物理量傳感器、以及使用了該物理量傳感器的電子設(shè)備及移動(dòng)體。

本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，其能夠作為以下的方式或應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。

應(yīng)用例1

本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器包括：傳感器元件，其對(duì)預(yù)定的物理量進(jìn)行；驅(qū)動(dòng)電路，其生成所述傳感器元件的驅(qū)動(dòng)信號(hào)；AGC電路，其基于所述傳感器元件的輸出信號(hào)，而將所述驅(qū)動(dòng)信號(hào)控制為與基準(zhǔn)電壓相對(duì)應(yīng)的恒定電平，所述基準(zhǔn)電壓是可變的。