[發明專利]振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體

無效

• 申請號: 201410116009.9
• 申請日: 2014-03-26
• 公開（公告）號: CN104079256A
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發明（設計）人: 山田明法;吉田周平
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/19
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;馬建軍

1.一種振動元件，其特征在于，該振動元件包含：

基部；以及

一對振動臂，它們在俯視時從所述基部起在第1方向延伸，沿著與所述第1方向垂直的第2方向排列，

所述振動臂包含：

施重部；以及

臂部，其在俯視時配置于所述施重部與所述基部之間，

所述振動元件具有基本振動模式，在該基本振動模式下所述一對振動臂交替地反復沿著所述第2方向彼此接近、離開而進行彎曲振動，

在設所述振動臂的沿著所述第1方向的長度為L，所述施重部的沿著所述第1方向的長度為H時，滿足如下關系，

0.183≤HL≤0.597,]]>

在設所述基本振動模式的諧振頻率為ω0，與所述基本振動模式不同的其它振動模式的諧振頻率為ω1時，滿足如下關系，

|ω0-ω1|ω0≥0.124.]]>

2.根據權利要求1所述的振動元件，其中，

在所述振動臂的彼此處于正反關系的一對主面中的至少一個主面設有槽，

在設所述振動臂的厚度為T，所述槽的深度為t時，滿足如下關系，

0.375≤tT≤0.483,]]>

在所述振動臂的所述一個主面中，

當設在俯視時所述振動臂的一個外緣與所述槽的所述一個外緣側的緣部之間的沿著所述第2方向的寬度、以及所述振動臂的另一個外緣與所述槽的所述另一個外緣側的緣部之間的沿著所述第2方向的寬度為W[μm]時，滿足如下關系，

-8.835×101×(tT)2+8.737×101×(tT)-1.872×101≤W≤1.136×102×(tT)2-1.385×102×(tT)+5.205×101.]]>