[發明專利]多晶硅錠邊尾料表面預處理裝置及其處理方法

無效

• 申請號: 201410107698.7
• 申請日: 2014-03-23
• 公開（公告）號: CN103866396A
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 張軍彥;周社柱;杜海文;陳國紅;張瑾
• 申請（專利權）人: 山西中電科新能源技術有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10
• 代理公司: 太原華弈知識產權代理事務所 14108
• 代理人: 李毅

1.一種多晶硅錠邊尾料表面預處理裝置，包括長方體形腐蝕池體（1），其特征在于，在長方體形腐蝕池體（1）的底面中央設置有排液管路（4），在排液管路（4）上設置有排液控制閥（5），在長方體形腐蝕池體（1）的左右兩內側面底部均設置有池底凹槽（2），在池底凹槽（2）中設置有電加熱器（3），在長方體形腐蝕池體（1）內分別連通有酸液輸入管（8）、堿液輸入管（9）、凈水輸入管（12）和壓縮空氣輸入管（13），在長方體形腐蝕池體（1）的底面上設置有料筐支撐網罩臺（6），在料筐支撐網罩臺（6）上活動設置有料筐（10），在料筐（10）中設置有邊尾料（11）。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅錠邊尾料表面預處理裝置，其特征在于，在長方體形腐蝕池體（1）的池口一側設置有抽風筒（10），在長方體形腐蝕池體（1）的底部設置有溫度傳感器（7）。

3.一種多晶硅錠邊尾料表面處理方法，包括以下步驟：

第一步、先啟動設置在長方體形腐蝕池體（1）的池口一側的抽風系統，使抽風筒（10）處于負壓狀態，將裝滿邊尾料（11）的料筐（10）放置到長方體形腐蝕池體（1）的底面上設置的料筐支撐網罩臺（6）上；

第二步、關閉排液控制閥（5），打開堿液輸入管（9），將預先配置好的濃度為100-110克/每升，溫度為40-50攝氏度的堿液打入長方體形腐蝕池體（1）內，打入的堿液要淹沒料筐（10）中設置的邊尾料（11），然后，同時打開壓縮空氣輸入管（13）和電加熱器（3），對打入到長方體形腐蝕池體（1）內的堿液進行加熱和鼓泡，控制堿液溫度在65-70攝氏度，鼓泡浸泡時間4小時30分鐘后，打開排液控制閥（5）將長方體形腐蝕池體（1）內的堿液排盡；

第三步、打開凈水輸入管（13），對邊尾料（11）進行噴淋，噴淋1分鐘；

第四步、關閉排液控制閥（5），打開酸液輸入管（8），將預先配置好的濃度為30%，溫度為室溫的酸液打入長方體形腐蝕池體（1）內，打入的酸液要淹沒料筐（10）中設置的邊尾料（11），然后，同時打開壓縮空氣輸入管（13）和電加熱器（3），對打入到長方體形腐蝕池體（1）內的酸液進行加熱和鼓泡，控制酸液溫度在30-40攝氏度，鼓泡浸泡時間2-4分鐘后，打開排液控制閥（5）將長方體形腐蝕池體（1）內的酸液排盡；

第五步、打開凈水輸入管（12），對邊尾料（11）進行噴淋，噴淋1分鐘；

第六步、將長方體形腐蝕池體（1）內放滿凈水，浸泡2分鐘后，打開排液控制閥（5）將污水排凈。