[發(fā)明專利]一種柵氧介質(zhì)測試結(jié)構(gòu)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410106620.3 | 申請日： | 2014-03-20 |
| 公開（公告）號： | CN103904058A | 公開（公告）日： | 2014-07-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王小寶;陳雷剛;周柯 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務(wù)所 31272 | 代理人： | 吳俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 介質(zhì) 測試 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種柵氧介質(zhì)測試結(jié)構(gòu)，包括：基極、柵極、柵氧化層和測試襯墊，所述基極上設(shè)有所述柵氧化層，所述柵氧化層上設(shè)有所述柵極，其特征在于，所述柵極與一個所述測試襯墊連接。
2.如權(quán)利要求1所述一種柵氧介質(zhì)測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述測試襯墊的材質(zhì)與所述柵極的材質(zhì)相同。
3.如權(quán)利要求1所述一種柵氧介質(zhì)測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柵極的材質(zhì)為多晶硅。
4.如權(quán)利要求1所述一種柵氧介質(zhì)測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柵氧化層的材質(zhì)為二氧化硅、氮化硅或氧化鉿。
5.如權(quán)利要求1所述一種柵氧介質(zhì)測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柵極和柵氧化層的結(jié)構(gòu)為條形結(jié)構(gòu)、指狀結(jié)構(gòu)、方形矩陣結(jié)構(gòu)或塊狀結(jié)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求1所述一種柵氧介質(zhì)測試結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述基極的結(jié)構(gòu)為條形結(jié)構(gòu)、指狀結(jié)構(gòu)、方形矩陣結(jié)構(gòu)或塊狀結(jié)構(gòu)。
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