[發明專利]振動元件、振子、振蕩器、電子設備以及移動體

有效

• 申請號: 201410104441.6
• 申請日: 2014-03-20
• 公開（公告）號: CN104079254B
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 菊島正幸;田中雅子;小幡直久;海野幸浩
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/19
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;馬建軍

1.一種振動元件，其特征在于，該振動元件包含：

基板，其包含第1區域和第2區域，所述第1區域包含以厚度剪切振動進行振動的振動區域，所述第2區域與所述第1區域一體，厚度比所述第1區域厚；以及

激勵電極，其分別設置于所述振動區域的正面和背面，

所述第1區域包含設置于所述厚度剪切振動的振動方向的一端的第1外緣和設置于另一端的第2外緣，

所述第1外緣和所述第2外緣在與所述振動方向交叉的方向上延伸，

所述第1區域包含設置于與所述振動方向交叉的方向的一端的第3外緣和設置于另一端的第4外緣，

所述第4外緣從所述基板的側面露出，

所述第2區域包含：

第1厚壁部，其沿著所述第1外緣設置，設置有固定于對象物的固定部；

第2厚壁部，其沿著所述第2外緣設置；以及

第3厚壁部，其沿著所述第3外緣設置且與所述第1厚壁部和所述第2厚壁部連接，

當設所述第2厚壁部沿著所述振動方向的最大尺寸為Lmax，最小尺寸為Lmin時，平均尺寸(Lmax+Lmin)/2為40μm以上、100μm以下，

當設所述第3厚壁部沿著與所述振動方向垂直的方向的最大尺寸為L2max，最小尺寸為L2min時，平均尺寸(L2max+L2min)/2為200μm以上，

所述基板的沿所述振動方向的長度為5mm以下，

所述基板的沿與所述振動方向交叉的方向的長度為3mm以下。

2.根據權利要求1所述的振動元件，其中，當設所述第2區域的最大厚度為Tmax，最小厚度為Tmin時，平均厚度(Tmax+Tmin)/2為50μm以上70μm以下。

3.根據權利要求1所述的振動元件，其中，所述基板是如下的石英板：在石英的晶軸即作為電氣軸的X軸、作為機械軸的Y軸和作為光學軸的Z軸中，將所述X軸作為旋轉軸，將使所述Z軸以+Z側朝所述Y軸的－Y方向旋轉的方式傾斜后的軸作為Z’軸，將使所述Y軸以+Y側朝所述Z軸的+Z方向旋轉的方式傾斜后的軸作為Y’軸，將包含所述X軸和所述Z’軸的面作為主面，將沿著所述Y’軸的方向作為厚度方向。

4.一種振子，其特征在于，該振子具有：

權利要求1所述的振動元件；以及

收納所述振動元件的封裝。

5.一種振蕩器，其特征在于，該振蕩器具有：

權利要求1所述的振動元件；以及

驅動所述振動元件的振蕩電路。

6.一種電子設備，其特征在于，該電子設備具有權利要求1所述的振動元件。

7.一種移動體，其特征在于，該移動體具有權利要求1所述的振動元件。