[發明專利]檢測溫度的裝置和方法以及用于處理襯底的裝置

有效

• 申請號: 201410103268.8
• 申請日: 2014-03-19
• 公開（公告）號: CN104062014B
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 池尙炫
• 申請（專利權）人: AP系統股份有限公司
• 主分類號: G01J5/00
• 分類號: G01J5/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司11205
• 代理人: 張洋

1.一種用于檢測溫度的裝置，其特征在于包括：

濕度傳感器，經配置以測量濕度值；

溫度補償數據庫，經配置以存儲針對每一濕度值的溫度補償值；以及

高溫計，其中待補償的波段包括透射率限制波段以及透射率允許波段，所述透射率限制波段由于濕度而具有小于第一閾值的透射率，所述透射率允許波段由于濕度而具有大于第二閾值的透射率，通過將對應于由所述濕度傳感器檢測的所述濕度值的溫度補償值與通過測量從待測量的物體輻射的所述待補償的波段的波長強度而計算的待補償的溫度相加來計算非接觸溫度。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述待補償的溫度為通過轉換從所述物體輻射的所述待補償的波段的強度而獲得的溫度，且透射率允許溫度為通過轉換所述透射率允許波段的強度而獲得的溫度，將所述透射率允許溫度與所述待補償的溫度之間的差值視為針對每一濕度值的所述溫度補償值且接著將其存儲在所述溫度補償數據庫中。

3.根據權利要求2所述的裝置，其中所述透射率限制波段為在100％的濕度環境下具有10％或10％以下的透射率的波段，且所述透射率允許波段為在100％的濕度環境下具有90％或90％以上的透射率的波段。

4.根據權利要求3所述的裝置，其中所述透射率限制波段為5微米到7微米的波段，且所述透射率允許波段為7微米到15微米的波段，且所述待補償的波段為5微米到15微米的波段。

5.一種用于處理襯底的裝置，其特征在于包括：

加熱外殼，經配置以將多個加熱燈收納在其中；

處理腔室，具有所述襯底由所述加熱燈的輻射能處理的空間；

濕度傳感器，設置在所述處理腔室中以便測量所述處理腔室中的濕度值；

高溫計，其中待補償的波段包括透射率限制波段以及透射率允許波段，所述透射率限制波段由于濕度而具有小于第一閾值的透射率，所述透射率允許波段由于濕度而具有大于第二閾值的透射率，通過將對應于由所述濕度傳感器檢測的所述濕度值的溫度補償值與通過測量從所述襯底輻射的所述待補償的波段的波長強度而計算的待補償的溫度相加來計算非接觸溫度；以及

加熱控制器，經配置以使用由所述高溫計計算的所述非接觸溫度來控制所述加熱燈。

6.根據權利要求5所述的裝置，其中所述處理腔室包括：

襯底支撐部分，經配置以支撐所述襯底；以及

工藝套件，經配置以覆蓋所述襯底支撐部分且包括襯底門，且所述濕度傳感器測量由所述襯底支撐部分支撐的所述襯底與設置在所述襯底的下側的所述高溫計之間的所述濕度值。

7.一種檢測溫度的方法，其特征在于包括：

產生溫度補償數據庫，其存儲針對每一濕度值的溫度補償值；

待補償的波段包括透射率限制波段以及透射率允許波段，所述透射率限制波段由于濕度而具有小于第一閾值的透射率，所述透射率允許波段由于濕度而具有大于第二閾值的透射率，測量從待測量的物體輻射的波段的所述待補償的波段的波長強度以計算待補償的溫度；

測量被所述從待測量的物體輻射的波段所輻射的區域中的濕度值；

從所述溫度補償數據庫提取對應于測量的所述濕度值的溫度補償值；以及

通過將所述溫度補償值與所述待補償的溫度相加來計算非接觸溫度。

8.根據權利要求7所述的方法，其中所述產生溫度補償數據庫包括：

通過檢測和轉換從所述待測量的物體輻射的所述波段的所述透射率允許波段的所述波長強度來計算透射率允許溫度；

通過檢測和轉換從所述待測量的物體輻射的所述波段的所述待補償的波段的所述波長強度來計算待補償的溫度；

計算所述透射率允許溫度與所述待補償的溫度之間的差值作為所述溫度補償值；以及

在所述濕度值改變時，重復所述透射率允許溫度的計算、所述待補償的溫度的計算和所述溫度補償值的計算，以將針對每一濕度值的所述溫度補償值存儲在所述溫度補償數據庫中。