[發明專利]一種高效硅晶片研磨液在審
| 申請號： | 201410102575.4 | 申請日： | 2014-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN104927768A | 公開（公告）日： | 2015-09-23 |
| 發明（設計）人： | 徐迪青 | 申請（專利權）人： | 徐迪青 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213200 江蘇省常*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高效 晶片 研磨 | ||
【權利要求書】：
1.一種高效硅晶片研磨液，其特征在于，所述各材料按以下重量組份：分子量200-10000聚乙二醇40-70份、碳化硼10-15份、氫氧化鈉5-10份、EDTA二鈉1-3份、甘油1-3份、磷酸脂3-5份、烷基醇酰胺0.5-2份、余量為去離子水。
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