[發(fā)明專利]一種激光分子束蒸發(fā)系統(tǒng)變向傳動定位機構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410101107.5
• 申請日: 2014-03-19
• 公開（公告）號: CN103820757A
• 公開（公告）日: 2014-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 董毅;李洪亮;閻佐健;董捷
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽慧宇真空技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/28
• 分類號: C23C14/28
• 代理公司: 沈陽世紀藍海專利事務所(普通合伙) 21232
• 代理人: 王勝利

1.一種激光分子束蒸發(fā)系統(tǒng)變向傳動定位機構(gòu)，包括轉(zhuǎn)動組件（1）和導向套（2），其特征在于，所述導向套（2）的基體為無縫圓管，在無縫圓管基體上加工有導向滑道（2-1）和螺紋安裝孔（2-2），所述導向滑道（2-1）為螺旋曲線滑道，所述轉(zhuǎn)動組件（1）有一個用導磁材料制作的定位冒（1-2），定位冒（1-2）右端設(shè)有定位塊（1-2-1），定位冒（1-2）左端設(shè)有2個對稱的磁鐵吸合塊（1-2-2），在定位冒（1-2）中間安裝內(nèi)支撐套（1-5），在內(nèi)支撐套（1-5）兩端各安裝1個深溝球軸承（1-7），在定位冒（1-2）右側(cè)穿入轉(zhuǎn)動軸（1-3）并穿過內(nèi)支撐套（1-5）和深溝球軸承（1-7），在轉(zhuǎn)動軸（1-3）上安裝擋圈（1-8），所述轉(zhuǎn)動軸（1-3）上設(shè)有磁鐵固定座（1-3-1）、基片叉連接孔（1-3-2）、導向銷安裝孔（1-3-3）和定位臺（1-3-4），定位臺（1-3-4）上根據(jù)基片叉實際轉(zhuǎn)動角度加工出2個定位面，2個定位面之間的夾角為α，在磁鐵固定座（1-3-1）中安裝磁鐵（1-4），然后用螺母（1-9）鎖緊固定，在導向銷安裝孔（1-3-3）中安裝導向銷（1-1），并用緊定螺釘（1-6）鎖緊固定。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述一種激光分子束蒸發(fā)系統(tǒng)變向傳動定位機構(gòu)，其特征在于，所述螺紋安裝孔（2-2）沿無縫圓管徑向按120o均布，左右2排共6個螺紋安裝孔（2-2）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種激光分子束蒸發(fā)系統(tǒng)變向傳動定位機構(gòu)，其特征在于，所述導向滑道（2-1）的螺距為80mm～200mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種激光分子束蒸發(fā)系統(tǒng)變向傳動定位機構(gòu)，其特征在于，所述導向銷（1-1）的長度為30mm～60mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種激光分子束蒸發(fā)系統(tǒng)變向傳動定位機構(gòu)，其特征在于，所述定位臺（1-3-4）2個定位面之間的夾角α為50°～160°。