[發(fā)明專利]一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的裝置和方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410100743.6
• 申請日: 2014-03-18
• 公開（公告）號: CN103898479B
• 公開（公告）日: 2017-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 湯勇;黃云翔;楊曉軍;曾海峰;鐘?；?/a>;孫超衛(wèi)
• 申請（專利權(quán)）人: 華南理工大學(xué)
• 主分類號: C23C16/54
• 分類號: C23C16/54;C23C16/30;H01L31/18
• 代理公司: 廣州市華學(xué)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司44245
• 代理人: 付茵茵,楊曉松

1.一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的裝置，其特征在于：包括：

-將柔性的襯底平鋪輸送的輸送機(jī)構(gòu)，

-進(jìn)行沉積反應(yīng)的沉積箱，

-與沉積箱相接的溶液加熱循環(huán)機(jī)構(gòu)，

-洗刷襯底的滾筒洗刷機(jī)構(gòu)，

-烘干襯底的烘干裝置；

所述沉積箱、滾筒洗刷機(jī)構(gòu)和烘干裝置沿著襯底的輸送方向依次設(shè)置。

2.按照權(quán)利要求1所述的一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的裝置，其特征在于：所述輸送機(jī)構(gòu)包括：

-位于襯底輸送路線首端和尾端的、將襯底纏繞成卷的卷筒，

-位于襯底輸送路線中的、導(dǎo)引襯底的輸送方向的多個(gè)導(dǎo)輥，

-將襯底定位在沉積箱和烘干裝置中的多個(gè)調(diào)整輥。

3.按照權(quán)利要求1所述的一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的裝置，其特征在于：所述沉積箱內(nèi)均勻分布有若干個(gè)超聲波震蕩器。

4.按照權(quán)利要求1所述的一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的裝置，其特征在于：所述溶液加熱循環(huán)機(jī)構(gòu)包括：依次相接的第一流量控制器、水泵、三通閥、混合箱、蛇形盤管換熱器、保溫容器、第二流量控制器；第一流量控制器和第二流量控制器分別與沉積箱相接；三通閥的另一端通入溶液。

5.按照權(quán)利要求1所述的一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的裝置，其特征在于：所述襯底的正面為硫化鎘薄膜，滾筒洗刷機(jī)構(gòu)與襯底的背面相接觸。

6.按照權(quán)利要求2所述的一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的裝置，其特征在于：所述烘干裝置的前后兩端各設(shè)有一個(gè)調(diào)整輥，襯底穿過烘干裝置。

7.一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的方法，其特征在于：使用權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的裝置，包括如下步驟：

a.襯底展開：將成卷的襯底通過輸送機(jī)構(gòu)展開；

b.溶液配置：用于沉積反應(yīng)的溶液的配置；

c.溶液加熱：溶液通過溶液加熱循環(huán)機(jī)構(gòu)加熱；

d.反應(yīng)沉積：溶液注入沉積箱，在襯底上均勻流動(dòng)，在襯底的正面生長出硫化鎘薄膜；

e.襯底的輸送：襯底從反應(yīng)沉積工序移至清洗工序；

f.襯底的清洗：對襯底的背面進(jìn)行清洗，得到潔凈的襯底；

g.潔凈的襯底的輸送：將潔凈的襯底輸送至烘干工序；

h.表面烘干：通過烘干裝置烘干襯底兩面的水分，固化表面；

i.襯底收起：將襯底纏繞成卷。

8.按照權(quán)利要求7所述的一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的方法，其特征在于：所述步驟a中，展開的襯底同時(shí)置于沉積箱、滾筒洗刷機(jī)構(gòu)和烘干裝置中。

9.按照權(quán)利要求7所述的一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的方法，其特征在于：所述步驟c中，加熱的溫度為60-90℃；步驟d中，反應(yīng)時(shí)間為8-30min。

10.按照權(quán)利要求7所述的一種卷對卷高效制備硫化鎘薄膜的方法，其特征在于：所述步驟d至i連續(xù)進(jìn)行。