[發明專利]大電流高電壓整流管及設計工藝方法

有效

• 申請號: 201410100521.4
• 申請日: 2014-03-18
• 公開（公告）號: CN104934320B
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發明（設計）人: 陶崇勃;邵永周
• 申請（專利權）人: 西安永電電氣有限責任公司
• 主分類號: H01L21/329
• 分類號: H01L21/329;H01L21/22
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮

1.一種大電流高電壓整流管的設計工藝方法，其特征在于，所述設計工藝方法包括如下步驟：

S1.提供待擴散的硼源、鋁源，將硼源和鋁源置于單晶硅上，在1250±5℃條件下置于反應器中進行第一次擴散，第一次擴散的擴散時間為54～58h，第一次擴散過程中使結深控制在140～155μm，表面濃度控制在0.08～0.1mV；

S2.提供待擴散的磷源，利用載氣攜帶磷源送入反應器中，進行第二次擴散，第二次擴散的擴散時間為4～6h，第二次擴散過程中使結深控制在17～22μm，表面濃度控制在0.15～0.25mV；

S3.對管芯的臺面進行造型，使管芯的臺面形成雙負斜角，并在形成雙負斜角的臺面上設置保護層，所述保護層包括依次設置于臺面上的液相鈍化層、有機硅漆層、硅橡膠層；

S4.將經過臺面造型的管芯以及鉬片封裝于管殼蓋和管殼體之間，在管殼蓋和管殼體之間的裝配壓力下，鉬片與管芯之間實現緊密接觸。

2.根據權利要求1所述的大電流高電壓整流管的設計工藝方法，其特征在于，所述硼源選自純度為99.999％的粉末狀單質硼。

3.根據權利要求1所述的大電流高電壓整流管的設計工藝方法，其特征在于，所述鋁源選自純度為99.999％的鋁絲。

4.根據權利要求1所述的大電流高電壓整流管的設計工藝方法，其特征在于，所述磷源選自高純三氯氧磷。

5.根據權利要求1所述的大電流高電壓整流管的設計工藝方法，其特征在于，所述載氣選自高純氮氣、氧氣。

6.一種根據權利要求1～5任一項所述的設計工藝方法制造的大電流高電壓整流管，其特征在于，所述整流管包括：管殼蓋、與所述管殼蓋相配合的管殼體，所述管殼體兩端設置有定位環，所述管殼體中設置有：陰極銀片、陽極銀片、陰極鉬片、陽極鉬片、陰極凸臺、陽極凸臺、管芯。