[發明專利]一種帶有參考真空室的MEMS皮拉尼計在審
| 申請號： | 201410100481.3 | 申請日： | 2014-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN104931193A | 公開（公告）日： | 2015-09-23 |
| 發明（設計）人： | 夏文;張威;蘇衛國;李雷;萬松 | 申請（專利權）人： | 北京大學 |
| 主分類號： | G01L21/12 | 分類號： | G01L21/12;G01L27/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100871*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 帶有 參考 真空 mems 皮拉尼計 | ||
【權利要求書】：
1.一種帶有參考真空室的微型皮拉尼計，包括兩支微型皮拉尼計，一個真空室，其特征在于，兩支皮拉尼計共用同一襯底，其中一只封裝在真空室內作為參考，真空室內的真空度穩定不變，兩支皮拉尼計一起置于被測環境中，通過引線接入外圍電路，輸入同樣的激勵信號，兩個微型皮拉尼計的輸出信號差作為真空度測量信號。
2.如權利要求1中所述帶有參考真空室的微型皮拉尼計，其特征在于，所述同一襯底為硅、玻璃或陶瓷。
3.如權利要求1中所述帶有參考真空室的微型皮拉尼計，其特征在于，所述參考真空室由硅或玻璃制成，通過與襯底進行鍵合實現。
4.如權利要求3中所述帶有參考真空室的微型皮拉尼計，其特征在于，所述鍵合工藝為玻璃粉鍵合、或焊料鍵合，真空度在0.01Pa-10Pa之間。
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