[發(fā)明專利]用于太陽能電池表面細(xì)柵的多次套印對(duì)準(zhǔn)方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410098396.8 | 申請(qǐng)日: | 2014-03-18 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103839861B | 公開(公告)日: | 2016-11-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 李慧 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 常州天合光能有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/68 | 分類號(hào): | H01L21/68;H01L31/18;B41M3/00 |
| 代理公司: | 常州市科誼專利代理事務(wù)所 32225 | 代理人: | 孫彬 |
| 地址: | 213022 江蘇省*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 用于 太陽能電池 表面 多次 套印 對(duì)準(zhǔn) 方法 | ||
1.一種用于太陽能電池表面細(xì)柵的多次套印對(duì)準(zhǔn)方法,其特征在于該方法的步驟如下:
a)依次制備N套印刷電極的印刷圖形,其用于依次對(duì)太陽能電池表面細(xì)柵進(jìn)行N次疊層印刷;其中,N≥2,每個(gè)印刷圖形在相同位置上設(shè)置有相對(duì)應(yīng)的位置識(shí)別點(diǎn),并且,印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)內(nèi)具有呈空白狀的前面使用的印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)重合后的圖形;
b)通過印刷設(shè)備依次采用步驟a)中的印刷圖形對(duì)硅片進(jìn)行印刷,并且在相鄰次的印刷過程中,通過印刷設(shè)備定位前次印刷后的硅片上重合在一起的位置識(shí)別點(diǎn)的坐標(biāo)位置,并在后次印刷過程中,調(diào)整硅片的橫向位置、縱向位置和角度方向,使硅片上的位置識(shí)別點(diǎn)和后次使用的印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)的空白部分重合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽能電池表面細(xì)柵的多次套印對(duì)準(zhǔn)方法,其特征在于:所述的N套印刷圖形中,第一個(gè)印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)為實(shí)心圓,第二個(gè)到第N-1個(gè)印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)為圓環(huán)狀,并且其中的后一個(gè)印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)的內(nèi)徑等于前一個(gè)印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)的外徑,第N個(gè)印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)為空心圓,并且空心圓的直徑為第N-1個(gè)印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)的外徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于太陽能電池表面細(xì)柵的多次套印對(duì)準(zhǔn)方法,其特征在于:所述的N套印刷圖形中,第一個(gè)印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)為實(shí)心圓,第二個(gè)印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)為實(shí)心圓的外切正方形減去實(shí)心圓的圖形,第三個(gè)印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)為外切正方形的外切圓減去外切正方形的圖形,依次類推直到第N-1個(gè)印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn),第N個(gè)印刷圖形上的位置識(shí)別點(diǎn)為空心正方形,并且該空心正方形與第N-1個(gè)印刷圖形上的外切正方形相同。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





