[發(fā)明專(zhuān)利]自供電射頻收發(fā)組件中砷化鎵基熱電-光電微傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410098094.0
• 申請(qǐng)日: 2014-03-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103915459A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廖小平;閆浩
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H01L27/146
• 分類(lèi)號(hào): H01L27/146
• 代理公司: 南京蘇高專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種自供電射頻收發(fā)組件中砷化鎵基熱電-光電微傳感器，該微傳感器放置在射頻功率放大器的頂部，其特征是該微傳感器由多個(gè)傳感器（1）并列連接構(gòu)成，傳感器（1）由多個(gè)熱電偶通過(guò)金屬線(xiàn)（9）串聯(lián)而成，而熱電偶主要部分是N型砷化鎵的半導(dǎo)體臂（10）和Au的金屬臂（11）構(gòu)成，采用重?fù)诫s的P型砷化鎵構(gòu)成半導(dǎo)體臂（10）和Au金屬臂（11）的頂部連接線(xiàn)（2），P型砷化鎵構(gòu)成的連接線(xiàn)（2）與N⁺摻雜的砷化鎵構(gòu)成PN結(jié)（3），連接線(xiàn)（2）與Au金屬臂（11）形成歐姆接觸作為熱電偶的冷端（4），半導(dǎo)體臂（10）與金屬線(xiàn)（9）形成歐姆接觸作為熱電偶的熱端（5），傳感器（1）以砷化鎵襯底（6）為基底，砷化鎵襯底（6）以下是導(dǎo)熱板（8），上層覆蓋熱沉板（7），砷化鎵襯底（6）為支撐材料，起到支撐熱沉板（7）的功能，導(dǎo)熱板（8）下面接射頻收發(fā)組件的散熱板作為傳感器的熱端，熱沉板（7）作為傳感器的冷端，熱沉板（7）表面光刻有圓形通孔用以通過(guò)光照，圓刑通孔間距相同其正下方為PN結(jié)（3）用以接收光能從而轉(zhuǎn)換成電能，傳感器外圍輔以大電容及穩(wěn)壓電路(12)，所獲得的穩(wěn)定直流電壓，供給電路自身使用，實(shí)現(xiàn)了自供電。