[發(fā)明專利]自供電射頻收發(fā)組件中硅基熱電和光電傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410097839.1
• 申請日: 2014-03-17
• 公開（公告）號: CN103910326A
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廖小平;閆浩
• 申請（專利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類號: B81B7/00
• 分類號: B81B7/00;H02S10/30
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種自供電射頻收發(fā)組件中硅基熱電和光電傳感器，該微傳感器放置在射頻功率放大器的頂部，其特征是所述硅基熱電和光電傳感器由多個傳感器（1）并列構(gòu)成，傳感器（1）由多個熱電偶通過金屬線（10）串聯(lián)而成，而熱電偶主要部分是N⁺多晶硅的半導(dǎo)體臂（3）和Al的金屬臂（2）構(gòu)成，N⁺多晶硅的半導(dǎo)體臂（3）與Al的金屬臂（2）形成歐姆接觸，靠近熱沉板（8）處的歐姆接觸作為熱電偶的冷端（4），靠近導(dǎo)熱板（9）處的為熱端（5），傳感器（1）以硅襯底（6）為基底，中間SiO₂層（7）為隔熱層用以防止收集到的熱能向基底（6）傳輸，硅襯底（6）以下是導(dǎo)熱板（9），上層覆蓋熱沉板（8）；硅襯底（6）與SiO₂層(7)同為支撐材料，起到支撐熱沉板（8）的功能，導(dǎo)熱板（9）下面接射頻收發(fā)組件的散熱板作為傳感器的熱端，熱沉板（8）作為傳感器的冷端，熱沉板（8）頂部制作一層光伏材料（11）,用以接收光能從而轉(zhuǎn)換成電能；傳感器外圍輔以大電容及穩(wěn)壓電路（12），所獲得的穩(wěn)定直流電壓，供給電路自身使用，實(shí)現(xiàn)了自供電。