[發明專利]延伸雙SCARA機械手連接裝置的伸出距離的方法及設備

有效

• 申請號: 201410097454.5
• 申請日: 2008-05-29
• 公開（公告）號: CN103862463B
• 公開（公告）日: 2017-08-15
• 發明（設計）人: D·K·考克斯;M·L·弗利曼;J·M·舒浩勒;J·C·胡金斯;J·A·布洛迪尼
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: B25J9/00
• 分類號: B25J9/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 胡林嶺

1.一種雙選擇性順應組裝機械手臂的機械手，其包含：

二選擇性順應組裝機械手臂，各自包含肘管接頭，其中該二選擇性順應組裝機械手臂為垂直堆棧，故一選擇性順應組裝機械手臂為第一臂而另一選擇性順應組裝機械手臂為第二臂，及

其中該第二臂適于支撐第一襯底，及當該第二臂支撐該第一襯底時該第一臂為適于延伸至該第一臂的全長，及

其中由該第二臂支撐的該第一襯底為與該第一臂的肘管接頭共平面，及該第二臂更適于與第一臂同時同步沿同一方向移動且協調以超出該第一臂的該肘管接頭的足夠量以避免在該第一襯底及該第一臂的肘管接頭間的干擾，且其中因為所述機械手后的空間不能利用，由所述第二臂支撐的所述第一襯底不能被充分縮回以避免干擾。

2.如權利要求1所述的雙選擇性順應組裝機械手臂的機械手，其中該第一臂適于支撐第二襯底。

3.如權利要求1所述的雙選擇性順應組裝機械手臂的機械手，其中該第二臂能夠延伸至該第二臂的全長。

4.如權利要求3所述的雙選擇性順應組裝機械手臂的機械手，其中該第二臂的全長延伸少于能夠避免在該第二臂的肘管接頭和由該第一臂支撐的第二襯底間的干擾的足夠量。

5.如權利要求1所述的雙選擇性順應組裝機械手臂的機械手，其中該第一臂適于由該第一臂的全長延伸縮回且該第二臂適于由足夠量縮回以避免在該第一襯底和該第一臂的肘管接頭間的干擾。

6.如權利要求5所述的雙選擇性順應組裝機械手臂的機械手，其中該縮回為同步。

7.一種雙選擇性順應組裝機械手臂的機械手，其包含：

二選擇性順應組裝機械手臂，各自包括肘管接頭，其中一選擇性順應組裝機械手臂為第一臂且另一選擇性順應組裝機械手臂為第二臂，及

其中該第一及該第二臂為適于達到相同的狹縫閥，及

其中該第二臂適于支撐第一襯底，且當該第二臂支撐該第一襯底時該第一臂為適于延伸至全長，及

其中由該第二臂支撐的該第一襯底為與該第一臂的肘管接頭共平面，及該第二臂更適于與該第一臂同時同步沿同一方向移動且協調以超出該第一臂的該肘管接頭的足夠量以避免在該第一襯底及該第一臂的肘管接頭間的干擾，且其中因為所述機械手后的空間不能利用，由所述第二臂支撐的所述第一襯底不能被充分縮回以避免干擾。

8.如權利要求7所述的雙選擇性順應組裝機械手臂的機械手，其中該第一臂為適于支撐第二襯底。

9.如權利要求7所述的雙選擇性順應組裝機械手臂的機械手，其中該第二臂能延伸至全長。

10.如權利要求7所述的雙選擇性順應組裝機械手臂的機械手，其中該第一及該第二臂為適于縮回。

11.如權利要求10所述的雙選擇性順應組裝機械手臂的機械手，其中該縮回為同步。

12.一種用于延伸雙選擇性順應組裝機械手臂的機械手的伸出距離的方法，其包含：

提供雙選擇性順應組裝機械手臂機械手，該雙選擇性順應組裝機械手臂機械手包括第一及第二臂；

支撐第一襯底于一端部執行器上，該端部執行器耦接至該選擇性順應組裝機械手臂機械手的第二臂；

延伸該選擇性順應組裝機械手臂機械手的第一臂至該第一臂的全長；及

依延伸第一臂同時且沿同一方向移動該第二臂，其中該第二臂同步地移動超出該第一臂的肘管接頭的足夠量以避免在該第二臂的端部執行器上的該第一襯底及該第一臂的共平面肘管接頭間的干擾，且其中因為所述機械手后的空間不能利用，由所述第二臂支撐的所述第一襯底不能被充分縮回以避免干擾。

13.如權利要求12所述的方法，其中延伸該第一臂以于耦合至該第一臂的一端部執行器上接收第二襯底。